[实用新型]一种高真空系统密封装置有效
申请号: | 201220448034.3 | 申请日: | 2012-09-05 |
公开(公告)号: | CN202812405U | 公开(公告)日: | 2013-03-20 |
发明(设计)人: | 范多旺;牛晓山;牛进虎;杨书本;范多进;令晓明 | 申请(专利权)人: | 常州大成绿色镀膜科技有限公司;兰州交大国家绿色镀膜工程中心有限责任公司;兰州大成科技股份有限公司 |
主分类号: | F16K31/12 | 分类号: | F16K31/12;F16K1/18 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 213000 江苏省常州市新北区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 系统 密封 装置 | ||
1. 一种高真空系统密封装置,其特征在于,包括:真空室体(1)、高真空翻板阀(2)、低温盘管(3)、冷凝罩(4)和扩散泵(5),所述的冷凝罩(4)中装有低温盘管(3);所述的高真空翻板阀(2)包括:驱动气缸(2-1)、气缸转臂(2-2)、阀板固定臂(2-3)、阀板调整机构(2-4)、阀板调平轴(2-5)、阀板(2-6),所述的驱动气缸(2-1)由自动控制动作,驱动气缸(2-1)驱动气缸转臂(2-2)和阀板固定臂(2-3)动作。
2.根据权利要求1所述的一种高真空系统密封装置,其特征在于:所述的调整机构(2-4)由模具弹簧、调整丝杆、调整螺母、固定块、焊接柱组成,模具弹簧和调整螺母安装在调整丝杆上,调整丝杆与焊接柱连接,焊接柱焊接在阀板(2-6)上;阀板(2-6)可绕旋转中心转动。
3.根据权利要求1所述的一种高真空系统密封装置,其特征在于:燕尾形密封槽加工在阀板(2-6)上。
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