[实用新型]一种多线切割机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多线切割机。 

背景技术

　多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。 

现有技术中，钢线导轮常因钢线张力、高负荷切断而引起的轴变形，生产率不高。 

实用新型内容

本实用新型提出一种多线切割机，解决了现有技术中钢线张力、高负荷切断而引起的轴变形，生产率不高的问题。 

本实用新型的技术方案是这样实现的： 

本实用新型公开了一种多线切割机，包括加工室、 支架、 多个钢线导轮、 导轮砂浆桶，所述的钢线导轮安装于支架上，所述的支架位于所述的加工室中，所述的多个钢线导轮为单独驱动的刚性钢线导轮。

进一步地，所述的钢线导轮轴间距440mm。 

进一步地，所述的钢线导轮长度为500mm。 

进一步地，所述的多线切割机的顶部、底部的钢线线网各自布网。 

进一步地，所述的导轮砂浆桶位于所述的加工室正下方，容量为240L。 

进一步地，所述的导轮砂浆桶具有多层过滤构造。 

实施本实用新型的一种多线切割机，具有以下有益的技术效果： 

防止因钢线张力、高负荷切断而引起的轴变形，应对切薄、细线化时钢线导轮的负荷增加，发挥高效的生产能力。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。 

图1是本实用新型一种多线切割机构造示意图。 

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。 

请参阅图1，本实用新型的实施例，一种多线切割机，包括加工室10、 支架20、 多个钢线导轮30、 导轮砂浆桶40，钢线导轮30安装于支架20上，支架20位于加工室10中，多个钢线导轮30为单独驱动的刚性钢线导轮。 

采用多个钢线导轮30为单独驱动的刚性钢线导轮可防止因钢线张力、高负荷切断而引起的轴变形，应对切薄、细线化时钢线导轮的负荷增加，发挥高效的生产能力（同时加工硅棒长度1000mm）。 

进一步地，钢线导轮30间轴间距440mm，采用该距离可抑制加工中钢线的振动、跳线、弯曲。 

进一步地，钢线导轮30长度为500mm，采用该长度可实现高精度、高出片率，使高送线加工成为可能。 

进一步地，多线切割机的顶部、底部的钢线线网各自布网，因此，可在顶部、底部也可以用不同的槽距进行加工。 

进一步地，导轮砂浆桶40位于加工室10正下方，容量为240L。 

由于砂浆路径的最短化，减少了路径内的淤渣残留。 

因大容量化，可减轻切薄时硅含有量上升而产生的切割能力下降。 

砂浆自动给排，构造简易。 

砂浆桶的装取、清扫的操作性良好。 

进一步地，导轮砂浆桶40具有多层过滤构造。实践证实，多层过滤构造可彻底除去破片，淤渣，防止由于钢线跳线造成的出片率恶化，宜采用加工室2层、砂浆桶2层的4层过滤构造。 

实施本实用新型的一种多线切割机，具有以下有益的技术效果： 

防止因钢线张力、高负荷切断而引起的轴变形，应对切薄、细线化时钢线导轮的负荷增加，发挥高效的生产能力。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。