[实用新型]一种电桥模块

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电桥模块，该电桥模块适于在磁传感器中应用。

背景技术

如图1所示，电桥包括四个桥臂即第一桥臂ARM1、第二桥臂ARM2、第三桥臂ARM3和第四桥臂ARM4。为了保证该电桥能够正常工作，需要第一桥臂ARM1和第三桥臂ARM3的电阻值相等，且第二桥臂ARM2和第四桥臂ARM4的电阻值相等。第一桥臂ARM1和第三桥臂ARM3被定义为该电桥的第一组对应桥臂。同理，第二桥臂ARM2和第四桥臂ARM4被定义为该电桥的第二组对应桥臂。

电桥模块的应用非常广，很多电子器件中都需要电桥模块。通常，一个磁传感器中需要几个甚至几十个电桥模块。现有技术中，用于磁传感器中的电桥模块很难实现对应桥臂的电阻值相等，导致该电桥模块的性能降低，甚至导致该电桥模块无法正常工作。实际应用中，用于磁传感器中的电桥模块的每一个桥臂包括串联和/或并联的多个磁隧道结(MTJ)元件。对于这种电桥模块，由于组成电桥的MTJ元件的结构、电路布局以及制造工艺的影响，很难实现第一桥臂ARM1和第三桥臂ARM3的电阻值相等且第二桥臂ARM2和第四桥臂ARM4的电阻值相等，从而经常导致该电桥的性能降低甚至无法正常工作，进而导致磁传感器无法正常工作。

因此，需要一种电桥模块，该电桥模块适于在磁传感器中应用且能够较容易地实现对应桥臂的电阻值相等。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于磁传感器的电桥模块。

本实用新型提供的电桥模块包括四个桥臂和多个焊盘，每个桥臂包括串联的2N(N=1,2,3,4,5……)个MTJ元件组，其特征在于，该电桥模块具有多层膜结构，包括设于基片上的形成多个下导电层的第一导电层，所述下导电层上设有形成所述MTJ元件组的MTJ元件层，所述下导电层上还设有形成所述多个焊盘的第二导电层，所述MTJ元件层上设有形成多个上导电层的第三导电层；所述电桥模块的对应桥臂的MTJ元件组的位置相邻。

优选地，两组对应桥臂的MTJ元件组分别位于所述电桥模块的两端；位于所述电桥模块同一端的一组对应桥臂的一个桥臂的MTJ元件组与另一个桥臂的MTJ元件组分别一一对应，且对应的MTJ元件组的位置最相邻。

优选地，当N≥2时，所述电桥模块的每一个桥臂中MTJ元件组被呈“U”字形的下导电层和呈“一”字形的下导电层交替电连接。

优选地，所述电桥模块的每一个MTJ元件组包括四个串联的MTJ元件。

优选地，所述电桥模块包含的所有的MTJ元件都相同。

优选地，所述电桥模块的所有的MTJ元件的结构和材质都相同。

优选地，所述电桥模块的所有的MTJ元件的形状和大小都相同。

优选地，所述电桥模块的每一个MTJ元件呈椭圆形。

优选地，所述电桥模块的四个桥臂的电阻值相等。

优选地，所述多个焊盘位于所述电桥模块的中间且排成一行。

本实用新型具有如下有益效果：

与现有技术的电桥模块相比，本实用新型提供的电桥模块能够较容易地实现对应桥臂的电阻值相等，非常适于在磁传感器中应用。

附图说明

图1为电桥结构示意图；

图2为本实用新型实施例1提供的电桥模块的示意图；

图3为本实用新型实施例1提供的电桥模块的1A部分的局部放大示意图；

图4为本实用新型实施例1提供的电桥模块的1B部分的局部放大示意图；

图5为本实用新型实施例1提供的电桥模块的第一MTJ元件组131所在位置处的薄膜层状结构的示意图；

图6为本实用新型实施例1提供的电桥模块的第一MTJ元件组131所在位置处连接的示意图；

图7为本实用新型实施例2提供的电桥模块的示意图；

图8为本实用新型实施例3提供的电桥模块的示意图。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型的内容作进一步的描述。