[实用新型]对柱面进行干涉检测的镜头有效
| 申请号： | 201220432403.X | 申请日： | 2012-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN202747999U | 公开（公告）日： | 2013-02-20 |
| 发明（设计）人： | 孙玉娟;蔡燕华;薛海燕;潘宝珠;钱煜;胡建军;王伟 | 申请（专利权）人： | 江苏宇迪光学股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 南通市永通专利事务所 32100 | 代理人： | 葛雷 |
| 地址： | 226404 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 柱面 进行 干涉 检测 镜头 | ||
【权利要求书】：
1. 一种对柱面进行干涉检测的镜头，其特征是：包括标准平晶，标准平晶后设置平凸柱面镜；平凸柱面镜的柱面在前，平面在后，且柱面为环形面。
2. 根据权利要求1所述的对柱面进行干涉检测的镜头，其特征是：标准平晶两个面之间有一2’夹角，其中第一个面为标准平面，面形精度pv值优于λ/20，第二面为一般平面，面形精度pv值优于λ/10。
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