[实用新型]一种太阳能电池激光边缘刻蚀自动化系统

权利要求书

1.一种太阳能电池激光边缘刻蚀自动化系统，所述自动化系统包括传送系统以及由激光器（14）和激光束扫描聚焦装置（15） 组成的激光刻蚀系统；其特征在于，

所述传送系统包括由前级皮带传送带（5）和后级皮带传送带（6）组成的传送带，设置于传送带两侧对称的两台直线电机滑台（11），设置于直线电机滑台（11）上的直线电机滑块（10），固定在直线电机滑块（10）上的XYθ工件台（12），XYθ工件台（12）随直线电机滑块（10）同步运动，垂直设置于后级皮带传送带（6）上方的直线电机滑台（9），设置于前级皮带传送带（5）上方的前级机械手（7），设置于后级皮带传送带（6）上方的后级机械手（8）；

所述直线电机滑台（11）一端上方设有CCD检测装置（13）；

所述激光直线电机滑台（9）上设有激光束扫描聚焦装置（15）；所述激光器（14）设置于激光束扫描聚焦装置（15）一侧。

2.如权利要求1所述的自动化系统，其特征在于，所述直线电机滑台（11）上设有刻蚀等待位置（18）、激光刻蚀位置（17）和电池移动位置（16）。

3.如权利要求1所述的自动化系统，其特征在于，所述激光束扫描聚焦装置（15）还包括扩束镜和振镜。

4.如权利要求1所述的自动化系统，其特征在于，所述XYθ工作台（12）上设有用于吸附电池的吸盘。

5.如权利要求1所述的自动化系统，其特征在于，所述自动化系统还包括通过导线与控制系统连接的CCD检测和信号处理系统；所述传送系统和激光刻蚀系统通过导线与控制系统连接。