[实用新型]一种多晶铸锭炉气封结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种能避免气体泄漏的气封结构，特别涉及多晶硅生产设备多晶铸锭炉用的气封结构，属于光伏太阳能多晶铸锭技术领域。

背景技术

在多晶硅生产中，氩气通过多晶铸锭炉的炉顶的进气管进入坩埚内，对多晶硅的生长进行气氛保护。如图1所示，现有技术的多晶铸锭炉中，与进气管连接的进气套管1在C/C盖板4的进气口的位置通过其下端连接的一个螺母2与C/C盖板接触，该螺母2与出气口周围的C/C盖板形成相对的密封结构。但C/C盖板在高温下由于热应力的存在会有略微的变形，C/C盖板变形后与所述螺母2之间会产生间隙，这将直接导致气体的泄漏，破坏整个多晶硅锭生长环境中的气体分布，进而影响多晶硅锭的质量。

发明内容

针对现有技术中存在的上述缺陷，本实用新型提供了一种能有效避免气体泄漏的气封结构。

本实用新型所采用的技术方案是：一种多晶铸锭炉气封结构，包括与进气管连接的进气套管，所述进气套管的下端带有螺母A，其特殊之处是，在多晶铸锭炉的C/C盖板的进气口处设有一T形套管，所述T形套管的竖端自C/C盖板的内侧穿出，并通过与其穿出端螺纹连接的螺母B与C/C盖板固定连接；所述螺母A的下端面与所述螺母B的上端面对应接触。

本实用新型中，在进气口处设置的T形套管和螺母B在螺纹力的作用下可与C/C盖板间形成密封结构，保证气体不会自T形套管与C/C盖板之间泄漏。当C/C盖板在热应力下产生变形时，由于螺母B本身变形很小，因此螺母B可始终与螺母A之间保持紧密配合，降低了气体泄漏的可能性。

为了进一步提高密封效果，所述螺母A的下端面设有至少一个环形凹槽。当有微量气体泄漏时，泄漏的微量气体会进入螺母A的环形凹槽中，该处气体达到一定量后，压力会比进气管内的气体压力高，由于压力差的存在，再次泄漏的气体会反压回去，从而达到密封的效果。

考虑到结构设计的简单及可靠性，所述环形凹槽为2个。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过独特的结构设计，很好地解决了多晶铸锭炉坩埚C/C盖板在使用过程中因热应力产生变形而导致气体泄漏的问题，其密封效果可靠，有效避免了气体泄漏；而良好的气封效果，保证了多晶硅锭生长环境中的气体分布的稳定性，保证了多晶硅锭的质量。此外特别重要的是，C/C盖板进气口处设置的螺母B和T形套管能将C/C盖板进气口处因加工断裂的碳纤维封住，起到保护作用，进而提高了C/C盖板的使用寿命，同时断裂的碳纤维不容易掉落坩埚内，有利于提升多晶硅的品质。

附图说明

图1是现有技术中的多晶铸锭炉气封结构的示意图；

图2是本实用新型具体实施方式中的结构示意图；

图3是图2中的A部放大示意图；

图4是图2中的螺母A的放大示意图；

图中，1、进气套管，2、螺母A，3、螺母B，4、C/C盖板，5、T形套管，6、进气管，7、环形凹槽。

具体实施方式

下面通过非限定性的实施例并结合附图对本实用新型作进一步的说明：

如附图2-4所示，一种多晶铸锭炉气封结构，包括与进气管6连接的进气套管1，所述进气套管1的下端通过螺纹连接有螺母A2。在多晶铸锭炉的C/C盖板4的进气口处设有一T形套管5和螺母B3，所述T形套管5的竖端自C/C盖板4的内侧向外穿出，其穿出端设有外螺纹，并通过螺母B3将其与C/C盖板4紧固连接在一起，螺母B3紧固后，T形套管5和螺母B3与C/C盖板间形成密封结构。螺母A2的下端面与螺母B3的上端面对应接触，紧密配合。

为了提高密封效果，本实施例中，在螺母A2的下端面还设有至少一个环形凹槽7，考虑到结构设计的简单及可靠性，环形凹槽7可以设置为两个。

本实用新型中，当C/C盖板4在热应力下产生变形时，由于螺母B本身变形很小，因此螺母B可始终与螺母A之间保持紧密配合，降低了气体泄漏的可能性。螺母A下端面设置的环形凹槽的作用是：泄漏的微量气体进入螺母A的环形凹槽中，当该处气体达到一定量后，压力会比进气管内的气体压力高，由于压力差的存在，再次泄漏的气体会反压回去，实现整个结构的紧密结合，以达到气封的效果。

本实施例中的其他部分采用现有技术，在此不再赘述。