[实用新型]晶体生长炉用隔热装置有效
申请号: | 201220343045.5 | 申请日: | 2012-07-16 |
公开(公告)号: | CN202705572U | 公开(公告)日: | 2013-01-30 |
发明(设计)人: | 张博;赵东 | 申请(专利权)人: | 登封市蓝天石化光伏电力装备有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人: | 韩天宝 |
地址: | 452487 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶体生长 隔热 装置 | ||
1.一种晶体生长炉用隔热装置,包括用于套设在坩埚外围的筒形隔热屏,其特征在于,在所述筒形隔热屏外围还套设有筒形的金属换热屏,在所述金属换热屏与隔热屏之间留有环隙,在所述环隙中围绕圆周均布有支撑连接于金属换热屏和隔热屏外表面之间的支撑体。
2.根据权利要求1所述的晶体生长炉用隔热装置,其特征在于,所述的金属换热屏与隔热屏同心设置。
3.根据权利要求1所述的晶体生长炉用隔热装置,其特征在于,所述的金属换热屏的轴向长度不小于隔热屏的轴向长度。
4.根据权利要求1所述的晶体生长炉用隔热装置,其特征在于,所述的支撑体为旋装于金属换热屏上的金属顶丝。
5.根据权利要求4所述的晶体生长炉用隔热装置,其特征在于,所述的金属顶丝设有12-360个。
6.根据权利要求1所述的晶体生长炉用隔热装置,其特征在于,所述的金属换热屏由2-50mm厚的不锈钢、铜或钼钨合金板材经滚圆焊接制成。
7.根据权利要求1所述的晶体生长炉用隔热装置,其特征在于,所述的筒形隔热屏由2-50层、0.5-10mm厚的钼、钨或钼钨合金薄壁板材围成的圆筒同心套设组成。
8.根据权利要求1所述的晶体生长炉用隔热装置,其特征在于,所述的金属顶丝由钼、钨、钼钨合金、纯铜或不锈钢制成。
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