[实用新型]多晶铸锭炉炉底可调开度保温装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多晶铸锭炉炉底可调开度保温装置。

背景技术

传统的多晶炉在晶体生产过程中，热门处于全开或全闭状态，不利于晶体生长的控制。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种多晶铸锭炉炉底可调开度保温装置。

具体方案如下：

一种多晶铸锭炉炉底可调开度保温装置，应用在多晶炉上，多晶炉包括炉壳，炉壳内为热场保温层，炉壳连接热门；其特征在于：热场保温层内设有前后左右四块挡板，四块挡板由减速电机控制。

挡板材料选用特殊耐高温材料制造，有良好的耐高温性和保温性且高温下不变形，能很好的隔绝温度。

有益效果：

本实用新型的多晶铸锭炉炉底可调开度保温装置弥补了传统多晶炉只能依靠热门开关控制晶体生长的单一方式，可通过减速电机对四块挡板的控制，逐级控制晶体生长过程。可实现精准控制晶体生长温度，完成高质量的晶体产品。

附图说明

图1为本实用新型的多晶铸锭炉炉底可调开度保温装置的四块挡板开启状态结构示意图。

图2为本实用新型的多晶铸锭炉炉底可调开度保温装置的四块挡板闭合状态结构示意图。

其中： 1-左档板、2-前档板、3-右档板、4-减速电动机、5-热场保温层、6-热门、7-后档板、8-炉壳。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型作进一步描述。

一种多晶铸锭炉炉底可调开度保温装置，应用在多晶炉上，多晶炉包括炉壳8，炉壳8内为热场保温层5，炉壳8连接热门6；其特征在于：热场保温层5内设有前后左右四块挡板，四块挡板由减速电机4控制。

多晶铸锭炉炉底可调开度保温装置主要包括减速电动机4、左档板1、前档板2、右档板3、后档板7、热门6。四块挡板呈两两十字叠放布局，可向两边开启，开口在中间，由减速电动机4控制。

多晶炉在加热过程中热门6关闭，加热直至硅料熔化完成。硅料熔化完转结晶时热门6逐渐打开，PLC将工艺命令传输到减速电动机4，减速电动机4开始工作，减速电动机4在整个工艺运行过程中根据工艺设定的参数进行转速调节，四块挡板开度可在100%全开到中央10%范围内连续可调。

多晶铸锭炉炉底可调开度保温装置具有良好的可控性；该挡板组件在使用过程中具有稳定，可长期使用等特点；多晶铸锭炉炉底可调开度保温装置使得硅锭中部热量散失速度比四周快，即晶体生长在硅锭中部首先进行，因此能形成凸形的固相-液相界面，有利于晶粒尺寸的增大，并减少微晶的出现，同时能降低铸锭过程中所耗的电能，能产生较大的经济效益。整个多晶铸锭炉炉底可调开度保温装置设定比较灵活，易于实现对开启程度的灵活控制。

最后，还需要注意的是，以上列举的仅是本实用新型的具体实施例子，显然，本实用新型不限于以上实施例子，还可以有许多变形。本领域的普通技术人员能从本实用新型公开的内容直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本实用新型的保护范围。