[实用新型]一种小功率集成微波微等离子体源

权利要求书

1.一种小功率集成微波微等离子体源，其特征在于，包括：

锁相环频率合成器（1）；

可调衰减器（2），与所述锁相环频率合成器（1）连接；

宽带功率放大器（3），与所述可调衰减器（2）连接；

环形器（4），与所述宽带功率放大器（3）连接；

平面微带渐变螺旋电感耦合线圈（6），与所述环行器（4）连接。

2.如权利要求1所述小功率集成微波微等离子体源，其特征在于，所述锁相环频率合成器（1）的频率输出范围为2.3GHz至2.6GHz。

3.如权利要求1所述小功率集成微波微等离子体源，其特征在于，所述可调衰减器（2）的衰减范围在-2dB至-17dB。

4.如权利要求1所述小功率集成微波微等离子体源，其特征在于，所述宽带功率放大器（3）的功率输出范围为+20dBm至+40dBm，峰值功率大于43dBm。

5.如权利要求1所述小功率集成微波微等离子体源，其特征在于，所述环形器（4）的频率范围为2.3GHz至2.5GHz，插入损耗为0.25dB至0.3dB，隔离度为20dB至25dB。

6.如权利要求1所述小功率集成微波微等离子体源，其特征在于，所述平面微带渐变螺旋电感耦合线圈（6）的匝数为3；所述平面微带渐变螺旋电感耦合线圈（6）的线圈宽度为100μm至400μm，线圈间距为100μm至400μm,，所述线圈宽度与线圈间距由外圈向内圈逐渐减小。

7.如权利要求1所述小功率集成微波微等离子体源，其特征在于，进一步包括匹配负载（5）；所述匹配负载（5）与所述环形器（4）连接。

8.如权利要求7所述小功率集成微波微等离子体源，其特征在于，所述匹配负载（5）的频率范围为直流至2.7GHz，回波损耗大于20dB，功率容量为150瓦。

9.如权利要求1所述小功率集成微波微等离子体源，其特征在于，进一步包括匹配电路（7），所述匹配电路（7）连接所述环形器（4）与平面微带渐变螺旋电感耦合线圈（6）。

10.如权利要求1所述小功率集成微波微等离子体源，其特征在于，所述锁相环频率合成器（1）、可调衰减器（2）、宽带功率放大器（3）以及环形器（4）设置在屏蔽盒内。