[实用新型]一种采用增强物理隔离的静电吸附装置

权利要求书

1.一种采用增强物理隔离的静电吸附装置，包括高压集尘片和低压集尘片、上支撑卡板和下支撑卡板、夹持条、高压引导条和低压引导条、铝柱以及钨铝丝；所述的高压集尘片和低压集尘片由夹持条夹持，以上支撑卡板和下支撑卡板为支撑相间平行排列，并分别连接至设置于上支撑卡板和下支撑卡板外侧的高压引导条和低压引导条加以固定；所述铝柱和钨铝丝相间设置并固定在上支撑卡板和下支撑卡板上，所述铝柱与低压引导条相连接，所述钨铝丝与高压引导条相连接；其特征在于，所述上支撑卡板和下支撑卡板上所设的排列支撑高压集尘片和低压集尘片的支撑隔离筋设置延伸部。

2.根据权利要求1所述的采用增强物理隔离的静电吸附装置，其特征在于，所述的延伸部为“Y”形延伸部。

3.根据权利要求1所述的采用增强物理隔离的静电吸附装置，其特征在于，所述的高压集尘片和低压集尘片的四个角均设置为R角且所述的R为5。