[实用新型]用于晶片切割设备的过滤装置

权利要求书

1.一种用于晶片切割设备的过滤装置，包括用于容置从机床排出的脏油的脏油箱(4#)，其特征在于，所述脏油箱(4#)与设于滤桶(2#)内的一根以上滤芯的内腔连通，所述滤桶(2#)内环绕滤芯设有至少一用于容置从滤芯内滤出的干净油的空腔，所述空腔与滤芯内腔隔离，且所述空腔还分别经滤桶(2#)上设置的至少一干净油出口和至少一压缩气体输入口与干净油箱(1#)和压缩气源连通，同时，所述滤芯的内腔还经滤桶(2#)上设置的至少一粉体及污渣排放口与污渣箱(3#)连通。

2.根据权利要求1所述的用于晶片切割设备的过滤装置，其特征在于，所述滤芯竖直设置于滤桶(2#)内，且滤芯内腔分别与设置在滤桶(2#)顶部和底部的空腔连通，同时滤桶(2#)内环绕滤芯还设有与干净油出口和压缩气体输入口连通的空腔，所述滤桶(2#)顶部和底部的空腔分别与脏油箱(4#)和污渣箱(3#)连通。

3.根据权利要求1所述的用于晶片切割设备的过滤装置，其特征在于，所述脏油箱(4#)分别经带有阀门(P-41)的管道(L11)及带有阀门(P-11)的管道(L12)与机床和设于滤桶(2#)内的滤芯内腔连通，所述干净油出口带有阀门(P-42)的管道(L21)与干净油箱(1#)连通，所述压缩气体输入口经带有逆止阀(P-13)及阀门(P-3)的管路(L3)与压缩气源连通，所述粉体及污渣排放口经阀门(P-43)与污渣箱(3#)连通。

4.根据权利要求3所述的用于晶片切割设备的过滤装置，其特征在于，所述脏油箱(4#)经泵(M2)及带有阀门(P-11)的管道(L12)与滤芯内腔连通，所述干净油箱(1#)还经泵(M1)及带有逆止阀(P-12)的管道(L22)与机床连通。

5.根据权利要求3-4中任一项所述的用于晶片切割设备的过滤装置，其特征在于，所述阀门(P-41)、阀门(P-42)、阀门(P-43)、阀门(P-11)以及阀门(P-3)采用气动阀门和/或电磁阀门。

6.根据权利要求3-4中任一项所述的用于晶片切割设备的过滤装置，其特征在于，所述过滤装置还包括控制单元，所述控制单元分别与阀门(P-41)、阀门(P-42)、阀门(P-43)、阀门(P-11)以及阀门(P-3)连接。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的用于晶片切割设备的过滤装置，其特征在于，所述过滤装置还包括用于监控滤桶内气压的压力表(P-2)。

8.根据权利要求1-4中任一项所述的用于晶片切割设备的过滤装置，其特征在于，所述污渣箱(3#)还与阀门(P-44)连通。