[实用新型]一种超声波清洗机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种超声波清洗机。

背景技术

目前，在晶棒切割成片的生产过程中，当切割机出现断线问题时，通常采用卸棒后并放入超声波清洗池中用纯水洗净晶棒表面及线缝中砂浆，然后用压缩空气吹干晶棒表面及线缝中水分，再重新将晶棒装上工件夹，将线网对入晶棒线缝，之后继续切割；在上述方法中，完全洗净晶棒需要一般需要几个甚至十多个小时，不仅费时、费力、费水，而且重装时需要精确掌握原来的晶棒位置，如果位置偏移，会使硅片弯曲，造成报废，并产生再次断线，导致救棒的成功率不高。

发明内容

本实用新型的目的是提供能提高救棒成功率的一种超声波清洗机。

本实用新型采取的技术方案是：一种超声波清洗机，包括超声电源、超声容器和若干超声振板，其特征在于若干个超声振板分别设置在超声容器的底部和侧壁上，超声振板与超声电源通过电源线相连接，且侧壁上的超声振板可拆卸。

采用本实用新型，可以直接将其放置到主辊之间以及晶棒的下部，将晶棒置于超声容器内并注水、注无水乙醇进行清洗，因无需将晶棒从工件夹上取下，重新切割时的原点位置容易寻找，重装对刀时降低了误差，可提高救棒的成功率，既方便又快捷。

附图说明

图1是本实用新型的示意图。

图中序号表示：超声电源1、电源线2、超声振板3和超声容器4。 

具体实施方式

下面结合具体的实施例对本实用新型作进一步说明。

参照图1，该超声波清洗机包括超声电源1、超声容器4和若干超声振板3，若干个超声振板3分别设置在超声容器4的底部和侧壁上，其中侧壁上的超声振板3可拆卸，且超声振板3与超声电源1通过电源线2相连接。使用时，只要将该超声波清洗机放置到主辊之间以及需清洗的晶棒的下部，将晶棒置于超声容器4内并依工序注水、注无水乙醇进行清洗，因无需将晶棒从工件夹上取下，重新切割时的原点位置容易寻找，重装对刀时降低了误差，可提高救棒的成功率，既方便又快捷。