[实用新型]一种新型的气体导流控制装置有效
| 申请号： | 201220218486.2 | 申请日： | 2012-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN202558958U | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 林洪峰;王临水;方志文;李书森;姚志东;冯媛;刘兴翀;兰洵;张凤鸣 | 申请（专利权）人： | 天威新能源控股有限公司;保定天威集团有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 谭新民;廖曾 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 气体 导流 控制 装置 | ||
1.一种新型的气体导流控制装置，包括石英坩埚（9）以及设置在石英坩埚（9）上的盖板（7），所述盖板（7）连接有石墨套管（5），且石墨套管（5）的底端穿透盖板（7），其特征在于：所述石墨套管（5）的底端连接有气体控制器。
2.根据权利要求1所述的一种新型的气体导流控制装置，其特征在于：所述气体控制器包括集气盒（15）以及均匀分布于集气盒（15）四周的分流管（14），分流管（14）一端与集气盒（15）连通，所述分流管（14）上均设置有若干导气孔（16）。
3.根据权利要求2所述的一种新型的气体导流控制装置，其特征在于：所述导气孔（16）越远离集气盒（15）端分布越密集，且分流管（14）的远离集气盒（15）一端的尺寸小于靠近集气盒（15）一端的尺寸。
4.根据权利要求3所述的一种新型的气体导流控制装置，其特征在于：所述集气盒（15）为圆柱体或长方体。
5.根据权利要求4所述的一种新型的气体导流控制装置，其特征在于：所述集气盒（15）和盖板之间通过钼钉（17）固定。
6.根据权利要求5所述的一种新型的气体导流控制装置，其特征在于：所述集气盒（15）和分流管（14）均由金属钼制成。
7.根据权利要求1至6中任意一项所述的一种新型的气体导流控制装置，其特征在于：所述盖板（7）的尺寸小于石英坩埚（9）的尺寸，且盖板（7）能在石英坩埚（9）内移动。
8.根据权利要求7所述的一种新型的气体导流控制装置，其特征在于：所述石英坩埚（9）的外壁上设置有石墨护板（8）。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天威新能源控股有限公司;保定天威集团有限公司，未经天威新能源控股有限公司;保定天威集团有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201220218486.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
