[实用新型]一种超纯气体充装系统的压力显示单元

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种超纯气体充装系统，特别涉及一种超纯气体充装系统的压力显示单元。

背景技术

超纯气体通常指纯度在99.9999%以上的气体。瓶装超纯气体生产过程中，气瓶充装是最关键的步骤。如果气瓶充装稍有不慎，就会导致气体纯度的极大波动。高纯气体充装有两类方法，第一类是低压纯化后加压充瓶；第二类是高压纯化后直接充瓶。第一类方法多在充装纯度气体为99.999%时使用。由于隔膜压缩机可能造成纯净气体二次污染，充装超纯气体时多采用高压纯化后充装的方式。

现有的超纯气体充装系统中通常会使用到压力表。国家规定压力表需要定期检测。由于检测压力表会使用水压试验，所有检测后的压力表会对充装系统造成严重的污染。而且由于压力表死体积较大、且水分很难置换，所以压力表的定期检测也对超纯气体充装系统产生了重大的影响。有些系统会使用压力变送器。虽然压力变送器没有强制检测的规定，但是不检测会有安全隐患，检测后跟压力表相同也会受到污染。

实用新型内容

本实用新型提出一种超纯气体充装系统的压力显示单元，它能够有效地克服现有技术中的不足，使用压力变送器和压力表相结合的方式，保证了系统的洁净度，增加了系统的可靠性。

本实用新型的技术方案是这样实现的：一种超纯气体充装系统的压力显示单元，包括压力表和压力变送器，所述压力表和压力变送器分别连接于气体充装管路上。

作为优选，所述压力表和压力变送器通过三通管道的两个末端连接于气体充装管路上。

作为优选，所述压力表的连接管路上还连接有压力表阀和压力表排气阀。

作为优选，还包括与压力变送器双路并联连接的安全阀。

本实用新型的有益效果在于：采用上述结构后，使用压力变送器和压力表相结合的方式，保证系统洁净度，在系统使用前，使用已检测的压力表校验压力变送器，增加系统可靠性。系统生产中，仅使用洁净的压力变送器，污染的压力表不会污染系统。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的其中一个实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型其中一个实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，一种超纯气体充装系统的压力显示单元，包括压力表1和压力变送器2，所述压力表1和压力变送器2通过三通管道的两个末端连接于气体充装管路3上，所述压力表1的连接管路上还连接有压力表阀4和压力表排气阀5。所述压力显示单元内还包括与压力变送器2双路并联连接的安全阀6。

在操作时，打开超纯气体充装系统中的高压纯化器，使之达到工作温度；开启隔膜压缩机；打开压力表阀4后开启进气阀7，观察压力表1和压力变送器2读数是否一致。如果读数不一致，则停机检查压力表1和压力变送器2。如果读数一致，则关闭压力表阀4和进气阀7，完成压力变送器2校验；随后开启放空阀8，5秒后关闭，释放管路压力。即在系统使用前，使用已检测的压力表1校验了压力变送,2；在系统生产中，仅使用洁净的压力变送器2，污染的压力表1不会污染系统。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。