[实用新型]一种硅压阻式气压传感器的老化装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于大气压力检测的硅压阻传感器，具体涉及一种硅压阻式气压传感器的老化装置。

背景技术

当前，我国气象行业对于气压参数的获取多采用进口的电容式传感器，对于要求不高的测量则使用国产圆筒谐振式传感器，但是这两种传感器还要依靠自动气象站的自动记录功能实现测量数据的记录保存，并辅以人工观测水银气压表的手段为备份。另外，作为气压测量的关键部件--——气压传感器也大部分要依赖进口，不但价格昂贵还要受制于人，这与我们气象强国的宗旨、目标相抵触，在中国气象局提出的气象发展三大战略奋斗目标中，明确提出了要把我国的气象工作逐步实现从气象大国向气象强国跨越。因此加强基础性气象仪器的自主研究，是一项非常重要的工作。

在气象观测要求的量程内，测量精度要求在万分之五以下，采用硅压阻式气压敏感元件，可以研究高精度的智能气压传感器。但是，从硅压阻式气压传感器的测量原理、选材以及结构等方面而言，该传感器具有较大的非线性测量误差。误差的因素主要包括：力学结构的几何尺寸误差、几何非线性、晶向选择误差、电桥阻值误差、压阻系数温度特性和热应力等。对于非线性问题的解决，可以采取各种非线性的拟合算法，如对于温度的非线性问题，可以做温度的补偿，但是有一种非线性问题是随时间的变化而变化的。因此上述处理方法都不是很理想，这就是硅压阻式气压传感器的时间漂移问题。解决时漂问题唯一有效的方法就是对其进行老化处理。

实用新型内容

本实用新型针对背景技术中传感器的时间漂移问题，设计了一种硅压阻式气压传感器的老化装置，目的在于：使硅压阻式气压传感器的老化工作实现自动化，节省人力成本；同时使硅压阻式气压传感器在尽量短的时间内完成老化处理，提升硅压阻式气压传感器产品的质量。

本实用新型的技术解决方案：一种硅压阻式气压传感器的老化装置，其特征在于：所述老化装置包括高压罐、低压罐、压力测控装置、电源模块、气泵、电动调节阀、管路和信号传输导线；所述高压罐和低压罐分别通过管路与气泵和电动调节阀相连；所述高压罐和低压罐均安装有压力变送器，高压罐压力变送器和低压罐压力变送器分别通过信号传输导线与压力测控装置相连；所述气泵和电动调节阀分别通过信号传输导线与压力测控装置相连；所述电源模块为压力变送器和压力测控装置提供直流电源。

所述气泵为层叠式气泵。

所述电动调节阀为常闭式等百分比电动调节阀。

所述高压罐包括罐体、罐盖、气路接口和取压孔。

所述低压罐包括罐体、罐盖、气路接口和取压孔。

所述高压罐和低压罐的气路接口均为两个。

所述高压罐和低压罐的取压孔处均安装有压力变送器。

所述电源模块为压力变送器和压力测控装置提供5V、24V直流电源。

所述压力测控装置是以单片机为核心的智能压力控制器。

本实用新型的有益效果：本实用新型结构简单，一键式操作实现系统控制的自动化，节省人力成本，提高效率。在该装置的作用下，硅压阻传感器处于循环载荷环境中，经过60天左右的压力循环作用，硅压阻传感器的硅杯结构中的内部应力能基本释放、消除，使传感器时间漂移特性消除，提高其时间的稳定性。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图。

图2是本实用新型压力测控装置工作流程示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步阐述。

如图1所示，一种硅压阻式气压传感器的老化装置包括高压罐6、低压罐4、压力测控装置2、电源模块1、层叠式气泵5、常闭式等百分比电动调节阀3、管路和信号传输导线；所述高压罐6通过管路L4与层叠式气泵5相连，低压罐4通过管路L3与层叠式气泵5相连，所述高压罐6通过管路L1与常闭式等百分比电动调节阀3相连，低压罐4通过管路L2与常闭式等百分比电动调节阀3相连；所述高压罐6和低压罐4均含有压力变送器，高压罐压力变送器T2通过信号传输导线S1与压力测控装置2相连，低压罐压力变送器T1通过信号传输导线S2与压力测控装置2相连；所述层叠式气泵5通过信号传输导线S3与压力测控装置2相连，常闭式等百分比电动调节阀3通过信号传输导线S4与压力测控装置2相连。所述电源模块1为高压罐压力变送器T2、低压罐压力变送器T1和压力测控装置2提供5V、24V直流电源。

具体工作过程：第一步：把需要老化处理的硅压阻传感器分两批分别放入图1所示的高压罐6和低压罐4中，盖紧罐盖使之与罐体密封。