[实用新型]一种用于透射电镜薄膜样品制备的机械预减薄装置

说明书

技术领域

    本实用新型涉及一种用于透射电镜薄膜样品制备的机械预减薄装置，适用于金属材料等的透射电镜薄膜样品的制备。

背景技术

    作为20世纪最重大的发明之一的电子显微镜已成为众多科研领域不可缺少的科学研究和分析手段。由于电子同时受原子核及核外电子的散射，因此电子穿透样品的能力很弱。适用于透射电子显微观察的样品要求有足够薄的厚度，一般为5至200纳米。制备透射电镜样品的途径之一是由块状样品逐级减薄制备成薄膜样品，其过程大致分为两个阶段：首先是利用机械减薄法或化学减薄法进行预减薄，然后再利用电解抛光法或离子减薄法制成薄膜。对于大多数材料的薄膜样品制备，在预减薄阶段最常用的方法是机械减薄法，即对电火花线切割或砂轮切片机切取的0.4至1毫米的片状样品用一系列粒度的金相砂纸逐级研磨到40至80微米。在实际操作中，广大科研工作者开发出了多种机械减薄的具体方法及辅助设备。利用橡胶橡皮擦将片状样品按压与金相砂纸上并往复或沿“8”字形研磨是最简单的方法之一，但由于表面光滑的片状样品与橡皮擦之间的摩擦力有限，使得研磨效率较低。利用502胶或热熔胶等粘合剂将片状样品固定于大小合适、表面平整的硬块上再用金相砂纸研磨的方法虽然解决了牢固性问题并提高了研磨效率，但由于在样品装卸时需要使用到丙酮等溶剂或对样品进行加热，使得这一方法的应用范围减小。专利号为ZL201120275063.X的专利中描述的结构可以有效得解决上述两种方法中存在的问题。但是，在机械研磨过程中还存在其它的突出问题，就是如何解决研磨力度的控制与两侧研磨面平行度的保证。为了解决这些问题，市场上已有一些机械研磨设备出售，虽然功能较为完善但价格高昂。也有专利（如ZL200920012745.1和ZL200920277988.0等）提出了一些十分巧妙的机械研磨辅助装置，但是这些装置也存在结构稍显复杂、装置的一部分会在研磨样品的过程中被一同磨损等问题。综上所述，目前对透射电镜样品机械预减薄装置的研发之路有待发展。

发明内容

    本实用新型的目的是提供一种结构简单、高效实用的用于透射电镜薄膜样品制备的机械预减薄装置，能够提供稳定的研磨力度、高的研磨面平行度等效果，从而提高机械预减薄研磨效率及可靠性。

本实用新型的技术方案是：一种用于透射电镜薄膜样品制备的机械预减薄装置，该装置包括底座、上直线导轨，下直线导轨、上滑块、下滑块、滑块连接板、限位块、缓冲垫片、砂纸垫板、配重和载物部分；

其中，所述载物部分由载物台、套筒、套筒支架、载物片和载物片夹组成；

所述垫板置于所述底座的上端面上，所述下直线导轨通过所述限位块固定在所述底座上，所述缓冲垫片设置在所述限位块上，所述下滑块设置在所述下直线导轨上，可沿所述下直线导轨滑动，所述上滑块通过所述滑块连接板固接在所述下滑块的上端面上，所述上直线导轨设置在所述上滑块上，所述上直线导轨的一端与所述套筒支架固接；所述套筒支架与所述套筒采用粘结或焊接方式固定连接，所述载物台置于所述套筒内，所述配重安装于所述载物台顶端，所述载物片通过载物片夹安装于所述载物台的底端。

进一步，所述底座、下直线导轨、滑块连接板、限位块、上直线导轨上滑块、下滑块均为45钢或304不锈钢加工制作。

进一步，所述砂纸垫板为有机玻璃板。

进一步，所述缓冲垫片（5）为橡胶垫片。

    本实用新型的有益效果是：由于采用上述技术方案，本实用新型结构简单，能够提供稳定的研磨力度、高的研磨面平行度等效果，从而提高机械预减薄研磨效率及可靠性。此外，装置还具有很好的可扩展性，可以从手动方式进一步改造为电动方式。

附图说明

     图1为本实用新型的所有部件的展示图；

    图2为载物台部分的装配效果图；

    图3为整个装置的装配效果图。

图中：

1.底座，2.下直线导轨,3.滑块连接板，4.限位块，5.缓冲垫片，6.砂纸垫板，7.套筒，8.套筒支架，9.载物台，10.载物片，11.载物片夹，12.配重，13.上直线导轨，14.上滑块，15.下滑快。

具体实施方式

    下面参照附图对透射电镜薄膜样品制备的机械预减薄装置进行详细说明。但是，以下的具体实施方式中所描述的部件的材质、尺寸、形状等仅为单纯的实例说明，并不构成对本实用型新保护范围的限制。