[实用新型]多晶炉腔体卡扣装置有效
| 申请号： | 201220171177.4 | 申请日： | 2012-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN202643908U | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 冯琳 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/00 | 分类号： | C30B28/00 |
| 代理公司： | 上海元一成知识产权代理事务所(普通合伙) 31268 | 代理人： | 赵青 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 炉腔体卡扣 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶炉腔体卡扣装置，其特征在于，包括：
用于锁住多晶炉的上炉体和下炉体的卡扣；
用于移动卡扣的移动部；
用于控制移动部的控制部；
其中，所述控制部控制移动部移动，实现卡扣的开关。
2.根据权利要求1所述的多晶炉腔体卡扣装置，其特征在于，所述卡扣为L型。
3.根据权利要求1所述的多晶炉腔体卡扣装置，其特征在于，所述移动部为气缸或油缸。
4.根据权利要求1所述的多晶炉腔体卡扣装置，其特征在于，还包括：
调节所述移动部移动的调节部。
5.根据权利要求4所述的多晶炉腔体卡扣装置，其特征在于，所述调节部为调节阀。
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