[实用新型]干涉仪模块和光刻系统

权利要求书

1.一种适用于向着相应的测量反射镜和参考反射镜发射测量光束和相关联的参考光束的干涉仪模块，所述干涉仪模块包括：

将所述测量光束和所述参考光束的反射光组合成组合光束的光束组合器；

将所述组合光束分成第一分光束和第二分光束的非偏振分束器，每一种分光束包含所述参考光束和所述测量光束的分量；

将所述第一分光束分成具有第一偏振的第一偏振光束和具有第二偏振的第二偏振光束的第一偏振分束器；

将所述第二分光束分成具有第三偏振的第三偏振光束和具有第四偏振的第四偏振光束的第二偏振分束器；

分别检测所述第一偏振光束、所述第二偏振光束、所述第三偏振光束和所述第四偏振光束的光束能量的第一、第二、第三和第四检测器，

其中，所述第一偏振光束、所述第二偏振光束、所述第三偏振光束和所述第四偏振光束的所述偏振是不同的偏振。

2.根据前述权利要求中的任何一项所述的干涉仪模块，还适用于向着所述测量反射镜和相应的参考反射镜发射两种另外的测量光束和两种对应的另外的参考光束，其中，所述光束组合器还适用于将所述另外的测量光束和所述对应的另外的参考光束的反射光组合成另外的组合光束，该另外的组合光束基本上与所述组合光束平行，其中，所述非偏振分束器被布置用于将所述另外的光束分成另外的第一分光束和另外的第二分光束，并且，其中，所述第一偏振分束器和所述第二偏振分束器被布置用于分别将所述另外的第一分光束和所述另外的第二分光束分成另外的第一、第二、第三和第四偏振光束，所述另外的第一、第二、第三和第四偏振光束被引导到另外的第一、第二、第三和第四检测器上。 

3.根据权利要求1或2所述的干涉仪模块，还包括阻挡元件，该阻挡元件包括三个可变光阑，其中，所述阻挡元件被布置在所述光束组合器和所述非偏振分束器之间，用于分别部分地阻挡所述组合光束和所述两种另外的组合光束。

4.根据权利要求3所述的干涉仪模块，其中，所述阻挡元件包含硅。

5.根据权利要求1或2所述的干涉仪模块，其中，所述第一偏振分束器相对于所述第二偏振分束器旋转45度。

6.根据权利要求1或2所述的干涉仪模块，其中，所述第一偏振分束器适用于分离所述第一分光束，使得所述第一偏振光束具有平行的偏振，并且所述第二偏振光束具有垂直的偏振，并且，其中，所述第二偏振分束器适用于分离所述第二分光束，使得所述第三偏振光束具有45度的偏振，并且所述第四偏振光束具有135度的偏振。

7.根据权利要求1或2所述的干涉仪模块，其中，所述非偏振分束器与所述第一偏振分束器和/或所述第二偏振分束器直接相邻。

8.根据权利要求1或2所述的干涉仪模块，其中，所述光束组合器被固定地附接到所述非偏振分束器，从而形成宏元件。

9.根据权利要求1或2所述的干涉仪模块，其中，使用光学中性的粘合剂将所述非偏振分束器固定地附接到所述第一偏振分束器和/或所述第二偏振分束器。

10.根据权利要求1或2所述的干涉仪模块，其中，所述参考反 射镜被固定地附接在所述干涉仪模块内。

11.根据权利要求1或2所述的干涉仪模块，其中，所述干涉仪模块是差分干涉仪模块，该差分干涉仪模块还包括：

提供三种相干光束的光束源；

将所述三种光束分成相应对的测量光束和相关联的参考光束的分束器单元，其中，三种测量光束入射在第一反射镜上，并且，其中，三种参考光束入射在能够相对于所述第一反射镜移动的第二反射镜上，

其中，所述光束组合器被布置用于将每一种反射的测量光束和其相关联的反射的参考光束组合成所述组合光束中的组合光束。

12.根据权利要求11所述的干涉仪模块，其中，所述分束器单元包括单一分束器，用于将所述三种光束分成三个测量光束/参考光束对。

13.根据权利要求11所述的干涉仪模块，其中，所述光束检测器均包括用于检测对应的组合光束的强度或能量的光束强度检测器或光束能量检测器。

14.根据权利要求11所述的干涉仪模块，其中，分束器单元适用于非共面地发射所述三种测量光束，并且/或者适用于非共面地发射所述三种参考光束。