[实用新型]集成微流道的薄膜体声波谐振生化传感器

权利要求书

1.一种集成微流道的薄膜体声波谐振生化传感器，包括微流道(1)、压电堆栈(2)和信号处理芯片(3)，其特征在于，所述的微流道(1)和压电堆栈(2)设置在上层硅片(4)上，所述的信号处理集成电路(3)设置在下层硅片(5)上，所述的压电堆栈(2)与信号处理集成电路(3)之间具有空隙(6)。

2.根据权利要求1所述的一种集成微流道的薄膜体声波谐振生化传感器，其特征在于，所述的微流道(1)设置在上层硅片(4)的上边(7)，其宽度(8)大于压电堆栈(2)的宽度(9)。

3.根据权利要求1所述的一种集成微流道的薄膜体声波谐振生化传感器，其特征在于，所述的压电堆栈(2)设置在上层硅片(4)的下边(10)一侧向内的沟道(11)内。

4.根据权利要求1所述的一种集成微流道的薄膜体声波谐振生化传感器，其特征在于，所述的信号处理集成电路(3)设置在压电堆栈(2)的正下方，其宽度(12)小于沟道(11)的宽度(13)。

5.根据权利要求1所述的一种集成微流道的薄膜体声波谐振生化传感器，其特征在于，所述的空隙(6)的优选高度(14)为10微米至50微米。

6.根据权利要求1所述的一种集成微流道的薄膜体声波谐振生化传感器，其特征在于，所述的上层硅片(4)的下边(10)与下层硅片(5)的上边(15)在排除沟道(11)以外的区域紧密结合。