[实用新型]多晶硅铸锭炉

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉，其包括炉体、由炉体围设形成的炉室、置于所述炉室内并用于放置坩埚的热交换台、向所述坩埚内充气的充气管及分别对所述坩埚进行加热的顶部加热器和侧部加热器，所述顶部加热器设置于所述坩埚的上侧，所述侧部加热器设置于所述坩埚的侧边，其特征在于：所述多晶硅铸锭炉还包括设置于所述顶部加热器与所述坩埚之间的热屏。

2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述热屏在水平方向上的面积大于顶部加热器在水平方向的面积。

3.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述热屏上开设有气流孔。

4.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述热屏的侧部上开设有让位侧部加热器的凹槽。

5.如权利要求1至4中任一项所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：进一步包括设置于所述坩埚外侧的护板、支撑所述热交换台的支柱、悬吊所述顶部加热器和所述侧部加热器的电极、活动连接于所述炉体的提升连杆、悬吊于所述提升连杆上的隔热笼及设置于所述炉体上的抽气口；所述热交换台、坩埚、顶部加热器、侧部加热器和热屏均设置于所述隔热笼内，所述充气管连通隔热笼内外。

6.如权利要求5所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述隔热笼包括位于坩埚上侧的顶隔热板、位于坩埚下侧的下隔热板及位于坩埚四周的侧隔热板。

7.如权利要求6所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述热屏固定地或可活动地设置于所述顶隔热板上。

8.如权利要求5所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：进一步包括悬吊热屏于所述隔热笼上的吊杆，所述吊杆的材料为碳/碳复合材料或石墨材料。

9.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：进一步包括设置于坩埚底部的底部加热器。