[发明专利]一种三维激光清洗装置无效
申请号: | 201210582940.7 | 申请日: | 2012-12-28 |
公开(公告)号: | CN103056517A | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 佟艳群;沈全;邵祥松;宣婷;张罗;王浩 | 申请(专利权)人: | 江苏大学 |
主分类号: | B23K26/04 | 分类号: | B23K26/04;B08B7/00 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 楼高潮 |
地址: | 212013 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 三维 激光 清洗 装置 | ||
1.一种激光三维清洗装置,包括脉冲激光器及控制系统(1)、扩束准直光学系统(2)、第一扫描振镜(4)、第一扫描振镜控制器(5)、第二扫描振镜(6)、第二扫描振镜控制器(7)、聚焦透镜(8)、聚焦位置调节器(9)和位移控制器(10),其中聚焦位置调节器(9)包含滤波器(13)、显微成像透镜(14)、 CCD(15)和处理器(16);其特征在于,所述第一扫描振镜(4)和第一扫描振镜控制器(5)控制激光束x方向移动,所述第二扫描振镜(6)和第二扫描振镜控制器(7)控制激光束y方向移动,所述第一扫描振镜(4)和第二扫描振镜(6)组成二维扫描振镜,所述聚焦透镜(8)控制激光束z方向移动,聚焦透镜中心轴与二维扫描振镜中心轴重合;所述脉冲激光器及控制系统(1)带有指示红光,所述聚焦透镜(8)固定在聚焦调节器(9)上,且所述聚焦透镜(8)和显微成像透镜(14)相对位置固定,所述位移控制器控制聚焦调节器(9)沿z方向移动。
2.根据权利要求1所述的一种激光三维清洗装置,其特征在于,所述滤波器(13)、显微成像透镜(14)、 CCD(15)、处理器(16)和位移控制器(10)组成自动调焦系统,所述滤波器(13)、显微成像透镜(14)和CCD(15)的中心在同一光轴上,所述光轴与二维扫描振镜中心轴成一个角度θ,并在对焦时相交于显微成像透镜(14)的中心。
3.根据权利要求1所述的一种激光三维清洗装置,其特征在于,所述显微成像透镜(14)的初始位置设置在指示红光的反射光在CCD(15)上成像对比度最高且边缘最清晰处。
4.根据权利要求2所述的一种激光三维清洗装置,其特征在于,所述θ的取值范围10°~20°。
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