[发明专利]一种微波激励气体的装置及方法

权利要求书

1.一种微波激励气体的装置，其特征在于：包括有微波源，所述的微波源通过输出耦合波导连接有十字结构微波谐振腔，所述的十字结构微波谐振腔是通过两条尺寸相同的波导正交放置组成的谐振腔体，在十字结构微波谐振腔的两个波导交叉处放置有空芯光子晶体光纤，且空芯光子晶体光纤的两端均穿出十字结构微波谐振腔，所述的空芯光子晶体光纤的两端分别密封连接有气体腔，所述的气体腔上开有抽真空口和气体进口，所述的抽真空口连接真空泵，在气体腔内空芯光子晶体光纤的端口附近安装有谐振腔片。

2.一种微波激励气体的方法，其特征在于：由微波源产生的微波脉冲经输出耦合波导进入十字结构微波谐振腔中形成驻波分布，十字结构微波谐振腔的场分布最强的交叉区域放置空芯光子晶体光纤，微波脉冲经过空芯光子晶体光纤被注入到两侧的气体腔内，气体被注入微波激励，当微波激励功率密度达到100KW/cm3以上时，实现准分子运转，通过空芯光子晶体光纤的端口附近的谐振腔片实现准分子激光振荡输出。

3.根据权利要求1所述的微波激励气体的装置，其特征在于：所述的气体腔还分别连接有气压检测仪。

4.根据权利要求1所述的微波激励气体的装置，其特征在于：其中一个气体腔内的谐振腔片为输出谐振腔片，另一个气体腔内的谐振腔片为全反谐振腔片。