[发明专利]一种新型低温等离子微粒吸附装置无效
| 申请号： | 201210562925.6 | 申请日： | 2012-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN103878062A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 陈晓波;陈青;文彬 | 申请（专利权）人： | 陈晓波 |
| 主分类号： | B03C3/04 | 分类号： | B03C3/04;B03C3/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215211 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 低温 等离子 微粒 吸附 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型低温等离子微粒吸附装置，其特征在于，包括：吸附电极模块、电源系统、变压系统；上述吸附电极模块还包括：金属填充物、石英外壳、金属固定板、金属卡扣。
2.根据权利要求1所述吸附电极模块，其特征在于，与电源系统和变压系统连接。
3.根据权利要求1所述吸附电极模块，其特征在于，金属填充物在石英外壳内部。
4.根据权利要求1所述吸附电极模块，其特征在于，金属卡扣将金属固定板与石英外壳连接。
5.根据权利要求1所述吸附电极模块，其特征在于，吸附微粒的厚度有25mm至75mm。
6.根据权利要求1所述吸附电极模块，其特征在于，金属固定板接地。
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