[发明专利]抗静电板及包含其的工作平台组件

说明书

技术领域

本发明涉及一种工作平台，特别涉及一种应用于半导体制成设备、显示装置或测试装置等需要抗静电处理的工作平台。

背景技术

在进行半导体制程时，晶圆基板设置于一工作平台上，而工作平台通常是由金属材料所构成，因此，在进行半导体制程的过程中，在工作平台与晶圆基板之间会产生静电摩擦。

此外，在制造平面显示器的点胶机或刻线机中，显示基板通常是以真空吸附方式设置于工作平台上，此工作平台也通常是由金属材料所构成，如铝，因此，当设置显示基板于工作平台时或当将显示基板从工作平台上移除时，工作平台上会产生静电，因此显示基板会被电气化。近年来，由于显示基板越来越大，所产生的电荷量亦随之增加，因此静电问题亦随着越来越严重。

在晶圆基板或显示基板上会设置许多电子元件，如半导体装置，因此，静电可能流至这些电子元件并传送至其内部电路，而产生静电时所导致的静电电气化会对这些电子元件的可靠度造成毁灭性的破坏。再者，基板上可能吸附颗粒，而且在提起基板时，可能会导致基板因静电电气化而破裂。

在现有技术中，可以在工作平台上设置一静电消除机以电气化电位，藉以防止静电电气化；然而，在这种情况下，可能无法提起基板，否则离子风流可能无法顺利吹至目的地，而且，即使可以顺利提起基板，在离子风流吹至需要修除静电处之前，也可能产生静电放电的问题。

为解决上述问题，可以利用氟塑料涂布（或称铁氟龙涂布）作为工作平台的抗静电处理，由于氟塑料与其他材料的黏着力较低，且具有优异的无黏着力特性及较低的摩擦系数，因此其与玻璃基板具有较弱的连结关系，进而可以有效降低分离基板时产生的静电。

一般而言，氟具有电性隔离特性，因此在铁氟龙涂布中可以将电气化材料加入氟中，也即在电镀工作平台之后，进行铁氟龙涂布，藉以避免在工作平台上产生静电。

然而，铁氟龙涂布相对较昂贵，特别是针对显示基板越来越大的情况下，工作平台的尺寸亦随之增大，因此，其制造成本亦大幅增加。

另外，氟本身的硬度较低，所以由氟所构成的涂布层的硬度相对较低，故容易在其上形成刮痕而此刮痕处不容易保持平坦，且可能会形成颗粒。

此外，由于氟具有电性隔离特性，所以还必须添加填充剂，如碳黑或导电高分子，藉以提供抗静电的表面电阻；然而由于碳黑为圆形，所以会产生灰尘，而导电高分子的溶剂耐度较弱，需要较大量的黏结剂，且不容易形成薄膜。

除此之外，利用烧结超高分子量聚乙烯粉末以形成一超高分子量多孔膜，其可以应用于刻线机的抗静电；然而，此超高分子量多孔膜的吸振能力较弱，因此加工物件可能会容易受损，而且超高分子量多孔膜其的强度较低，所以其耐受度较低。

发明内容

为解决上述问题，本发明的目的提供一种抗静电板以及包括抗静电板而具抗静电处理的工作平台，其能够减少在工作平台与基板的相对表面上产生的静电，降低制造成本，适当地调整表面电阻，及较低的摩擦系数与较高的抗磨损度。

本发明的另一目的提供一种抗静电板以及包括抗静电板的具抗静电处理的工作平台组件，其具有优异的吸振能力。

本发明披露一种抗静电板，其包括一多孔板、一中间层以及一静电放电披覆层。其中，多孔板具有多孔性，中间层由高分子混合树脂所构成并形成于多孔板的至少一侧面上，静电放电披覆层设置于中间层上并包括多个纳米碳管。

抗静电板可还包括一初始层，其用以增加静电放电披覆层与中间层之间的黏着力，其中，初始层通过涂布一初始披覆剂于中间层上并使其硬化而形成，初始披覆剂通过混合氯化聚烯烃及改性橡胶于一溶剂中而形成，溶剂包括甲苯及二甲苯。

抗静电板可还包括一电晕处理层，其通过电晕处理中间层而形成于静电放电披覆层与中间层之间。

静电放电披覆层通过涂布一静电放电披覆剂而形成，其中，静电放电披覆剂包括一溶剂、一树脂以及多个纳米碳管；树脂混合加入溶剂中，并包括苯氧基树脂、丙烯酸氨基甲酸酯、羧基修饰乙烯共聚物、水性聚氨酯、聚酯、及聚乙烯醇缩丁醛至少其中之一，其中树脂占静电放电披覆剂的重量百分比的10至20％，纳米碳管占静电放电披覆剂的重量百分比的0.1至5％。

其中，静电放电披覆层的表面电阻为10⁶～10¹⁰Ω/sq。

多孔板为一不织布纤维板，其中不织布纤维板的原料纤维为聚对苯二甲酸乙二酯合成纤维。