[发明专利]一种提高光纤法珀传感器灵敏度和检测范围的方法有效
| 申请号: | 201210561136.0 | 申请日: | 2012-12-21 |
| 公开(公告)号: | CN103884680A | 公开(公告)日: | 2014-06-25 |
| 发明(设计)人: | 李秋顺;史建国;马耀宏;姜明顺;郑晖;孙士青;李雪梅;陈燕 | 申请(专利权)人: | 山东省科学院中日友好生物技术研究中心 |
| 主分类号: | G01N21/41 | 分类号: | G01N21/41 |
| 代理公司: | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人: | 辛向东 |
| 地址: | 250014 山东省济南市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 提高 光纤 传感器 灵敏度 检测 范围 方法 | ||
1.一种提高光纤法珀传感器灵敏度和测量范围的方法,其特征在于:通过化学湿法在光纤法珀传感器端面沉积二氧化钛纳米薄膜,取钛的卤化物,加入水,在低温下搅拌,使之溶解,加入氨水或硼酸调节溶液的pH值,通过控制反应的温度、pH值、卤化钛的浓度,调控钛卤化物水解的速度,通过控制膜沉积的温度和时间,调控光纤法珀传感器端面的膜厚和提高光纤法珀传感器的折射率传感性能。
2.根据权利要求1所述,其特征在于:用于沉积二氧化钛氧化物薄膜的钛卤化物包括四氟化钛TiF4、四氯化钛TiCl4、氟钛酸铵(NH4)2TiF6。
3.根据权利要求1所述,其特征在于:温度20~90°C。
4.根据权利要求1或2所述,其特征在于:钛卤化物与水的摩尔比例为1: 100~10:100。
5.根据权利要求1或2或4所述,其特征在于:调节溶液的pH值所用试剂为氨水,pH为0.8~5。
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