[发明专利]测试分选机

权利要求书

1.一种测试分选机，其特征在于，包括：

测试托盘，在经过装载位置、测试位置以及卸载位置而再次连接到装载位置的预定的循环路径上循环，且能够安置多个半导体元件；

装载装置，当所述测试托盘位于装载位置时，将多个半导体体元件装载到测试托盘；

均热室，设置成对借助所述装载装置完成装载而以安置于所述测试托盘的状态移送过来的多个半导体元件进行预热或者预冷；

测试室，设置成收容从所述均热室移送过来的M个测试托盘，并将安置于所述M个测试托盘的多个半导体元件电连接到测试器；

推动装置，设置成通过将所述M个测试托盘紧贴到测试器侧而将安置于所述M个测试托盘的多个半导体元件电连接到测试器侧；

退均热室，设置成使从所述均热室移送过来的安置于所述测试托盘的多个半导体恢复到常温；

卸载装置，从由所述退均热室移送到卸载位置的所述测试托盘卸载多个半导体元件，

所述推动装置包括：

N个匹配板，设置成能够沿测试器侧的方向进退移动，以对安置在收容于所述测试室的M个测试托盘的多个半导体元件进行支撑而使多个半导体元件与测试器电连接，其中，N＝a×M，a为大于1的自然数；

支撑部件，设置成同时支撑所述N个匹配板，以使所述N个匹配板能够同时沿测试器侧的方向进退，且能够与所述N个匹配板一起沿测试器侧的方向进退移动；以及

驱动源，提供用于使所述支撑部件沿测试器侧的方向进退移动的驱动力。

2.如权利要求1所述的测试分选机，其特征在于，所述N个匹配板中的至少一个匹配板包括：

支撑半导体元件的多个推动单元；

设置板，具有用于以矩阵形态设置所述多个推动单元的多个设置孔，

所述多个推动单元分别包括：

支撑半导体元件的推动器；

设置部件：前端相接于所述推动器，后端卡接于所述设置板的设置孔，其中，将测试器侧的方向定义为前方向，与测试器侧的方向相反的方向定义为后方向；

相互并排设置的多个结合部件，结合所述推动器和设置部件；

弹性部件，将所述推动器弹性支撑到设置板，

在以矩阵形态设置于所述设置板的所述多个推动单元中，靠近于相邻的匹配板的列的多个推动单元的设置部件的后端与剩余的列的多个推动部件的设置部件的后端相比，沿一侧方向的宽度窄。

3.如权利要求2所述的测试分选机，其特征在于，在以矩阵形态设置于所述设置板的所述多个推动单元中，靠近于相邻的匹配板的列的多个推动单元的多个结合部件所布置的方向与剩余的列的多个推动部件的多个结合部件所布置的方向互不相同。

4.如权利要求3所述的测试分选机，其特征在于，在所述多个推动单元中，靠近于相邻的匹配板的列的多个推动单元的多个结合部件所布置的方向与剩余的列的多个推动部件的多个结合部件所布置的方向相互垂直。

5.如权利要求1所述的测试分选机，其特征在于，所述N个匹配板中的至少一个匹配板包括：

支撑半导体元件的多个推动单元；

设置板，具有用于以矩阵形态设置所述多个推动单元的多个设置孔，

所述多个推动单元分别包括：

支撑半导体元件的推动器；

设置部件：前端相接于所述推动器，后端卡接于所述设置板的设置孔，其中，将测试器侧的方向定义为前方向，与测试器侧的方向相反的方向定义为后方向；

相互并排设置的多个结合部件，结合所述推动器和设置部件；

弹性部件，将所述推动器弹性支撑到设置板，

俯视时，在以矩阵形态设置于所述设置板的所述多个推动单元中，靠近于相邻的匹配板的列的多个推动单元所具备的推动器的局部脱离所述设置板而朝相邻的匹配板侧突出。

6.如权利要求1所述的测试分选机，其特征在于，所述N个匹配板中的至少一个匹配板包括：

支撑半导体元件的多个推动单元；

设置板，具有用于以矩阵形态设置所述多个推动单元的多个设置孔，

所述多个推动单元分别包括：

支撑半导体元件的推动器；

设置部件：前端相接于所述推动器，后端卡接于所述设置板的设置孔，其中，将测试器侧的方向定义为前方向，与测试器侧的方向相反的方向定义为后方向；

相互并排设置的多个结合部件，结合所述推动器和设置部件；

弹性部件，将所述推动器弹性支撑到设置板，

俯视时，在以矩阵形态设置于所述设置板的所述多个推动单元中，靠近于相邻的匹配板的列的多个设置孔的面积相比剩余的列的多个设置孔的面积窄。