[发明专利]等离子体镀膜装置

权利要求书

1.一种等离子体镀膜装置，其特征在于，包括真空系统、传动系统、脉冲电磁阀进气系统、同轴等离子体枪系统和充放电系统；

所述真空系统包括真空室和抽真空装置，所述抽真空装置与所述真空室连通，在真空室上对应设有阀门；

所述传动系统包括样品台和使样品台转动的传动装置，所述样品台放置样品，所述传动装置可使样品台进行横向两维的平移和高度的调整；

所述同轴等离子体枪系统包括同轴设置的内电极和外电极以及工程陶瓷绝缘套，内电极和外电极之间存有间隙；

所述充放电系统包括直流脉冲电源、充放电元件以及控制系统；

所述同轴等离子体枪系统部分位于所述真空室内，其位于所述真空室内的端部开口，使内电极和外电极之间的间隙与所述真空室连通，所述样品台位于真空室内，脉冲电磁阀进气系统与所述内电极电连接，所述工程陶瓷绝缘套套在脉冲电磁阀进气系统与所述内电极连接的线路外，并在该工程陶瓷绝缘套上开设有充氮气口，所述内电极与所述脉冲电磁阀进气系统连接的端部设有进气孔，所述进气孔通过进气通道连通内电极和外电极之间的间隙，所述进气通道与所述内电极和外电极之间的间隙连通，所述直流脉冲电源连接所述充放电元件为其充电，所述充放电元件分别电连接所述内电极和外电极，并为其充放电，所述控制系统与所述直流脉冲电源连接控制其为所述充放电元件充电和放电。

2.根据权利要求1所述的等离子体镀膜装置，其特征在于，所述抽真空装置包括涡轮分子泵、机械泵，所述涡轮分子泵与水冷系统连接，水冷系统为所述涡轮分子泵提供循环水，并控制温升。

3.根据权利要求1所述的等离子体镀膜装置，其特征在于，还包括等离子体诊断系统，所述等离子体诊断系统的Langmuir探针位于所述真空室内，用于检测等离子体的电压、温度和密度。

4.根据权利要求1所述的等离子体镀膜装置，其特征在于，所述脉冲电磁阀进气系统包括串联的电容器，开关和脉冲电磁阀，所述脉冲电磁阀和所述内电极电连接。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的等离子体镀膜装置，其特征在于，所述真空系统还包括一复合型真空计，所述复合型真空计位于所述真空室内。

6.根据权利要求1所述的等离子体镀膜装置，其特征在于，所述真空室上的阀门为闸板阀。

7.根据权利要求1所述的等离子体镀膜装置，其特征在于，所述充放电系统位于一个充放电控制柜内。