[发明专利]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，其通过等离子体束加热成膜材料，使从所述成膜材料气化后的粒子附着在被成膜物上来成膜，其特征在于，

所述成膜装置具备：

真空容器，形成真空环境；

主阳极，配置于所述真空容器内，保持所述成膜材料，并且进行所述等离子体束的引导；及

辅助阳极，以包围所述主阳极的方式配置，且辅助由所述主阳极进行的所述等离子体束的引导，

所述辅助阳极与所述真空容器电性短路。

2.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述辅助阳极具有：

电磁铁，用于辅助所述等离子体束的引导；及

导电性容器，容纳所述电磁铁，

所述容器与所述真空容器电性短路。

3.如权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，

所述成膜装置还具备导电性的支承部件，且该导电性的支承部件支承所述辅助阳极，

所述辅助阳极经所述支承部件与所述真空容器电性短路。

4.如权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，

所述主阳极具有主炉床，

所述主炉床由导电性材料构成，并且具有：圆筒状的外侧壁，向朝向所述被成膜物的方向延伸；及板状部件，设置于所述外侧壁的远离所述被成膜物的一侧的端部，并且向圆筒的径向伸出，

该成膜装置还具备设置于所述板状部件与所述支承部件之间的绝缘部件。

5.如权利要求4所述的成膜装置，其特征在于，

所述支承部件具有开口部，该开口部由以包围所述主阳极的所述外侧壁的方式设置的绝缘体构成。

6.如权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，

所述主阳极具有主炉床，

所述主炉床由导电性材料构成,并且具有：圆筒状的外侧壁，向朝向所述被成膜物的方向延伸；及板状部件，设置于所述外侧壁的远离所述被成膜物的一侧的端部，并且向圆筒的径向伸出，

所述板状部件与所述支承部件之间设置有间隙。

7.如权利要求6所述的成膜装置，其特征在于，

在所述支承部件与所述主阳极的所述外侧壁之间设置有间隙。

8.如权利要求1或2中所述的成膜装置，其特征在于，

所述成膜装置还具备设置于所述辅助阳极上的罩，

所述罩在所述主阳极上具有开口，并且从所述辅助阳极延伸至所述真空容器的侧壁。

9.如权利要求8所述的成膜装置，其特征在于，

所述罩具有导电性，

所述罩与所述辅助阳极电性短路。