[发明专利]光学元件支架

说明书

技术领域

本发明涉及光学系统所具备的光学元件支架，该光学元件支架以能够调整反射镜等光学元件的倾斜活动角度的方式对反射镜等光学元件进行保持。

背景技术

一般情况下，在干涉仪或其他光学装置中配置有对激光等光进行反射且改变光路的反射镜，并公知有以下的反射镜支架，即：为了使该反射镜以适当的角度反射光而以能够调整其倾斜活动角度的状态对反射镜进行保持（参照专利文献1、2）。

上述专利文献1、2记载的反射镜支架1，如图4（a）和（b）所示，将具有用于安装于防振台等基座的安装部亦即固定轴2的主体3、和一体地保持反射镜5的反射镜保持部件6相对置地配置，通过克服配置在上述主体3及反射镜保持部件6之间的拉伸螺旋弹簧7的作用力而使调整螺栓8、8进退，从而以支点部9为中心来调整反射镜5相对于上述主体3的倾斜活动角。

专利文献1：日本特表2002-506998号公报

专利文献2：日本特开2002-21835号公报

然而，在上述专利文献1、2记载的装置中存在以下问题，即：反射镜5的反射面5a与固定轴2偏置规定量e，因此在装置的设定时需要算出反射镜的固定位置，并且对于设置时的反射镜的倾斜活动角的调整也需要花费很多调整工时。另外，为了消除这样的反射镜与安装部的偏置，虽然考虑在基座与反射镜支架之间增加板，并通过将反射镜支架以只错开上述规定量e的方式固定在该板上从而消除偏置的方法，但是光轴增高与板的厚度相应的量从而稳定性降低，并且伴随着大型化和高成本化。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种不增加部件而消除固定轴和光学元件相对于基座的偏置，解决上述课题的光学元件支架。

本发明的光学元件支架，其特征在于，具备：

主体（12），其具有用于向基座安装的安装部（11）；

光学元件保持部件（15），其与上述主体（12）对置配置，一体地保持光学元件（13）；

支点部（27），其将上述光学元件保持部件（15）支承为相对于上述主体（12）倾斜自如；

调整螺栓（29、29），其与上述光学元件保持部件（15）以及上述主体（12）的任一方螺纹接合，且前端（29a、29a）与另一方抵接，来调整上述光学元件保持部件（15）相对于上述主体（12）的倾斜活动角；以及

施力部件（30、30），其通过施力而使上述光学元件保持部件（15）和上述主体（12）经由上述支点部（27）及上述调整螺栓（29、29）而抵接，

以使上述光学元件（13）位于上述安装部（11）的中心线的延长线（a-a）上的方式配置上述安装部（11）和上述光学元件保持部件（15）。

例如参照图1（f），上述光学元件是反射镜（13），

上述反射镜（13）的反射面（13a）实质上位于上述安装部（11）的中心线的延长线（a-a）上。

例如参照图1，上述安装部（11）和上述施力部件（30、30）以使上述光学元件（13）位于它们中间的方式分别配置在相对于所述光学元件的相反侧。

例如参照图1，上述主体（12）从正面观察时由矩形状形成，在其中央部具有圆筒状的孔（16），并且相对于上述矩形状的对角线而在一侧形成薄壁部（17），

上述光学元件保持部件（15）具有：以与上述薄壁部（17）对置的方式配置的板状部（20）、和以嵌入上述圆筒状的孔（16）的方式保持上述光学元件（13）的圆筒部（21），

上述主体（12）与上述光学元件保持部件（15）组合而构成长方体形状，

在上述主体（12）的薄壁部（17）以外的厚壁部分（19）配置上述安装部（11）。

例如参照图1（a）或（b），上述调整螺栓（29、29）与上述主体（12）螺纹接合。

此外，上述括号内的附图标记是与附图对照的标记，但不对权利要求书记载的结构造成影响。

根据技术方案1的本发明，由于光学元件配置在安装于基座的安装部的中心线的延长线上，安装部与光学元件的光路上的设置位置一致，因此在光学装置的设定时无需算出光学元件的固定位置、无需进行光路计算，并且光学元件的倾斜活动角的调整工时也可以较少，因此能够简便地将光学元件配置于光学装置。另外，由于在主体的安装部直接安装于基座，因此能够在保持小型、低光轴且高稳定度的状态下，配置光学元件。