[发明专利]以光纤作为空间滤波器与扩束器的激光干涉微影设备

权利要求书

1.一种激光干涉微影设备，其特征是，所述激光干涉微影设备包含：

一激光光源，提供一第一激光光束；

一光学元件组合，光学耦接至所述激光光源，接收并处理所述第一激光光束以提供一道或多道第二激光光束；

一曝光载台，用于承载一待曝物；以及

一光纤组，接收所述一道或多道第二激光光束并将所述一道或多道第二激光光束处理成一道或多道不具有空间杂讯的单一模态的稳定同调第三激光光束，所述光纤组的一工作波长范围涵盖所述第二激光光束的一波长，利用所述一道或多道第三激光光束于所述待曝物上产生一干涉图案，其中在所述激光光源的一输出端至所述曝光载台的一光路中，不存在有针孔空间滤波器及扩束器。

2.如权利要求1所述的激光干涉微影设备，其特征是，所述光学元件组合提供所述一道第二激光光束，所述光纤组包含单一光纤，并输出所述一道第三激光光束，所述光纤组的一第一端光学耦接至所述光学元件组合，且所述激光干涉微影设备更包含一固持器，耦接至所述光纤组的一第二端，其中所述曝光载台承载一反射镜，所述第三激光光束的一第一部分照射所述反射镜并由所述反射镜反射至所述待曝物，所述第三激光光束的一第二部分与所述第三激光光束的第一部分于所述待曝物上产生所述干涉图案。

3.如权利要求2所述的激光干涉微影设备，其特征是，所述激光干涉微影设备更包含：

一光纤驱动机构，所述固持器安装于所述光纤驱动机构上，所述光纤驱动机构驱动所述固持器移动或转动。

4.如权利要求1所述的激光干涉微影设备，其特征是，所述激光干涉微影设备更包含：

一载台驱动机构，所述曝光载台安装于所述载台驱动机构，所述载台驱动机构驱动所述曝光载台移动或转动。

5.如权利要求1所述的激光干涉微影设备，其特征是，所述激光干涉微影设备更包含：

一曝光剂量控制模块，控制所述第三激光光束对所述待曝物曝光的剂量；

一光感测器，接收所述第三激光光束的一第三部分以产生一强度信号；以及

一处理器，连接至所述光感测器及所述光学元件组合的一快门，并依据所述强度信号及经过的时间控制所述快门的关闭。

6.如权利要求2项所述的激光干涉微影设备，其特征是，所述光学元件组合在从所述激光光源到所述光纤组的所述光路上依序包含：

一快门，光学耦接至所述激光光源；

一光圈；以及

一耦合器，耦接至所述光纤组的该第一端，其中所述光圈设置于所述快门与所述耦合器之间。

7.如权利要求2所述的激光干涉微影设备，其特征是，所述光学元件组合在从所述激光光源到所述光纤组的所述光路上依序包含：

一第一反射镜、一第二反射镜、一个半波片、一快门、一光圈、一透镜以及一耦合器，所述第一反射镜与所述第二反射镜被调整以将所述第一激光光束反射至所述半波片，所述半波片将所述第一激光光束的线性偏振调整至一预设的偏振角，所述快门控制曝光时间，所述光圈除去所述第一激光光束的高强度空间杂讯，而所述透镜对所述第一激光光束作更进一步处理。

8.如权利要求2所述的激光干涉微影设备，其特征是，所述激光干涉微影设备更包含：

一准直器，设置于所述光路上，并位于所述固持器与所述曝光载台之间，将所述第三激光光束处理成平行光束。

9.如权利要求1所述的激光干涉微影设备，其特征是，所述曝光载台包含一待曝物驱动机构，所述待曝物装设于所述待曝物驱动机构上，所述待曝物驱动机构用于将所述待曝物转动至多个方位角以进行多次的曝光以产生多个干涉图案。

10.如权利要求1所述的激光干涉微影设备，其特征是，所述光学元件组合提供所述多道第二激光光束，所述光纤组包含多条光学耦接至所述光学元件组合的光纤，并输出所述多道第三激光光束，所述等光纤的第一端光学耦接至所述光学元件组合，且所述激光干涉微影设备更包含多个固持器，分别耦接至所述多个光纤的第二端，所述固持器被设置成使所述多道第三激光光束于所述待曝物上产生所述干涉图案。