[发明专利]电子构件用正型感光性树脂组成物、硬化膜及其形成方法、以及显示装置

权利要求书

1.一种电子构件用正型感光性树脂组成物，其特征在于，含有：

(A)满足下述(1)或(2)的聚合物，

(1)至少将具有酸基经酸分解性基保护所得的残基的结构单元(a1)、及具有交联性基的结构单元(a2)共聚合而成的聚合物，

(2)含有具有酸基经酸分解性基保护所得的残基的结构单元(a1)的聚合物及含有具有交联性基的结构单元(a2)的聚合物；

(B)光酸产生剂；以及

(C)链状脂肪族环氧化合物。

2.根据权利要求1所述的电子构件用正型感光性树脂组成物，其特征在于：所述(C)链状脂肪族环氧化合物的分子量为2000以下。

3.根据权利要求1或2所述的电子构件用正型感光性树脂组成物，其特征在于：所述(C)链状脂肪族环氧化合物在25℃下的粘度为3000mPa·s以下。

4.根据权利要求1或2所述的电子构件用正型感光性树脂组成物，其特征在于：所述(C)链状脂肪族环氧化合物为下述通式(X-1)所表示的树脂，

通式(X-1)

所述通式(X-1)中，A为直链或分支的烃基，可以具有羟基作为取代基，n为1～4的整数。

5.根据权利要求1或2所述的电子构件用正型感光性树脂组成物，其特征在于：所述结构单元(a1)为具有羧基经缩醛保护所得的残基、或羧基经缩酮保护所得的残基的结构单元。

6.根据权利要求1或2所述的电子构件用正型感光性树脂组成物，其特征在于：所述结构单元(a1)为下述式(A2′)所表示的结构单元，

式(A2′)

所述式(A2′)中，R¹表示氢原子或甲基，R²表示碳数为1～6的烷基，R³表示碳数为1～6的烷基或碳数为4～7的环烷基，R²与R³也可以连结而形成环。

7.根据权利要求1或2所述的电子构件用正型感光性树脂组成物，其特征在于：所述(C)链状脂肪族环氧化合物为下述通式(X-2)所表示的树脂，

通式(X-2)

所述通式(X-2)中，B为直链或分支的烃基，可以具有羟基作为取代基，n为1～4的整数。

8.根据权利要求1或2所述的电子构件用正型感光性树脂组成物，其特征在于：所述结构单元(a2)包含选自由具有3员环或4员环的环状醚基的结构单元、及具有-NH-CH₂-O-R所表示的基团的结构单元所组成的组群中的至少一个，其中R为碳数为1～20的烷基。

9.根据权利要求1或2所述的电子构件用正型感光性树脂组成物，其特征在于：所述(C)链状脂肪族环氧化合物在25℃下的粘度为3000mPa·s以下，且为下述通式(X-1)所表示的树脂，

通式(X-1)

所述通式(X-1)中，A为直链或分支的烃基，可以具有羟基作为取代基、n为1～4的整数。

10.根据权利要求1或2所述的电子构件用正型感光性树脂组成物，其特征在于：所述(C)链状脂肪族环氧化合物在25℃下的粘度为3000mPa·s以下，且为下述通式(X-2)所表示的树脂，

通式(X-2)

所述通式(X-2)中，B为直链或分支的烃基，可以具有羟基作为取代基，n为1～4的整数。

11.一种硬化膜的形成方法，其特征在于，包括：

(1)将根据权利要求1或2所述的电子构件用正型感光性树脂组成物应用涂布于基板上的工序；

(2)从所应用的所述感光性树脂组成物中除去溶剂的工序；

(3)利用活性光线对除去了溶剂的所述感光性树脂组成物进行曝光的工序；

(4)利用水性显影液对经曝光的所述感光性树脂组成物进行显影的工序；及

(5)对经显影的所述感光性树脂组成物进行热硬化的后烘烤工序。

12.根据权利要求11所述的硬化膜的形成方法，其特征在于，包括：在所述显影工序后、所述后烘烤工序前，对经显影的所述感光性树脂组成物进行全面曝光的工序。