[发明专利]一种氟气的提纯方法无效

专利信息
申请号: 201210531749.X 申请日: 2012-12-11
公开(公告)号: CN102963870A 公开(公告)日: 2013-03-13
发明(设计)人: 孙凌云;张德波;庹洪;田勇;叶泉 申请(专利权)人: 中昊晨光化工研究院有限公司
主分类号: C01B7/20 分类号: C01B7/20
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 王朋飞;张庆敏
地址: 643201 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 氟气 提纯 方法
【说明书】:

技术领域

本发明属于非金属元素的领域,具体涉及一种卤素的提纯方法。

背景技术

氟是自然界电负性最强的元素,也是最强的单质氧化剂。常温下,是一种淡黄色气体,具有极强的腐蚀性。已知的利用中温法电解氟化氢钾溶液的方法制备氟气,已得到大规模的工业推广。

单质氟(F2)用途很广,例如,作为刻蚀剂或清洁剂应用在制造半导体器件、微电机、太阳能电池、薄膜晶体管;用于制造IF5和SF6;它也用于处理塑料材料的表面,如氟化内表面,外表面或油箱;另一个应用领域是表面处理聚合物制成的零件。目前生产氟气多是采用中温电解氟化氢钾溶液法,该方法制造的氟气含有2%~8%的HF和1%以下的CF4,因为CF4是惰性气体,在绝大多数情况下少量的CF4不影响氟气使用;但HF可以与很多物质发生反应,造成制得的氟气在实际使用中受到很大限制。

在氟气的提纯技术上,国内外也有人做了一些尝试,如专利CN200810194553公布了将氟气进行精馏提纯,从而得到99%以上的氟气,但是其方法需要使用超低温精馏塔,精馏需要大量的能耗,因为含有氟气和HF对设备要求很高,且在一定温度下精馏塔本身压力限制,不能与某些压力电解槽连接进行连续提纯。

专利WO2012016997也公布一种除去F2中HF的方法,因为其需要使用高纯的HF,需要预先准备高纯度的HF,甚至是电子级的HF,事实上这并不是一项简单的工作。HF还需要加入装置中,并需要除水、除空气,造成实际操作上的难度。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术的不足,提出一种氟气的提纯方法。

实现本发明目的的具体技术方案为:

一种氟气的提纯方法,该氟气是将熔融盐在电解装置内电解得到;将电解产生的待提纯的氟气通入换热装置,所述换热装置的操作压力为0~0.5MPa,换热装置内温度为-10~-100℃,再经过氟化物吸附。

电解装置电解出的氟气经从底部进入换热装置,在换热装置中冷却,大部分的HF会在换热装置中冷凝下来,氟气经换热装置顶部出口排出,进入下一处理步骤。氟气中的HF含量被有效降低至3%以下,最低降至0.06%。换热装置内的温度控制的越低,HF经过之后的含量越低,但是换热装置内的温度最好不低于-83℃,以免冷凝下来的HF凝固堵塞换热装置。

HF在氟气中的相对含量还与系统压力相关,即电解装置和换热装置的操作压力。电解装置和换热装置连通使用,换热装置与电解槽压力基本一样。电解装置压力越高即换热装置压力越高时,换热装置控制温度可以相应提高,但为了延长后继处理步骤—吸附塔的使用周期,应尽量控制换热装置更低温度;

当所述换热装置的操作压力为0~0.45MPa时,所述换热装置内温度为-20~-82℃。

优选地,所述换热装置内温度为-40~-82℃。

电解装置压力越低,换热装置则必须要控制更低温度才可以达到同样脱除HF的效果。当所述电解装置的操作压力为0~0.25MPa时,所述换热装置内温度为-40~-82℃。

其中,所述待提纯的氟气从换热装置底部进入,从顶部排出,在换热装置内停留的时间为10~600秒。

液体在换热装置间接冷却,冷却介质可选液体氮气,也可以选择惰性全氟溶剂、含氟氯溶剂中的一种。为了能够通过换热装置将HF充分冷凝下来,需要保证HF在换热装置中停留足够时间和选择合适的换热装置。通常能保证氟气在换热装置中停留10~600秒,通过本领域常规形式的换热器就能够保证将HF充分冷凝。

其中,所述换热装置内填充有金属填料。

在换热装置中添加填料能达到改进物料接触,促进HF充分冷凝的目的。例如,加入散装金属填料。随着时间进行填料中也会有液态的HF累积在换热装置底部,这部分HF因为温度低,不会增加换热装置顶部氟气带出的HF量,相反液体会利于与HF∕氟气与冷媒的传热。换热装置底部累积的HF可重新送入电解槽进行电解使用,也可用于其他工业领域。

所述金属填料选自拉西环、鲍尔环、阶梯环、矩鞍环、英特派克中的一种或多种。

所述金属填料为碳钢、不锈钢、蒙乃尔、哈氏合金中的一种金属的填料。

所述金属填料需在低温无水条件下耐HF的材质,大多数金属如碳钢、不锈钢等都满足该条件;填料还需要耐氟气或与氟气反应后可以在表面形成致密氟化层。因此填料可以使用碳钢、不锈钢、蒙乃尔、哈氏合金等材质。

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