[发明专利]一种用于隔振的柔性装置及使用该装置的光刻设备

权利要求书

1.一种用于隔振的柔性装置，其特征在于，包括：第一接口、第二接口以及位于所述第一第二接口中间的主体件，所述主体件包括一中空圆柱以及位于所述中空圆柱外表面的螺旋坡口。

2. 如权利要求1所述的用于隔振的柔性装置，其特征在于，所述主体件还包括一方形立柱，所述方形立柱的一端与所述中空圆柱连接，另一端与所述第二接口连接，所述方形立柱上包括至少一X向柔性坡口和一Y向柔性坡口。

3. 如权利要求2所述的用于隔振的柔性装置，其特征在于，所述X向、Y向柔性坡口均为中心对称的两个圆形开口。

4. 如权利要求1所述的用于隔振的柔性装置，其特征在于，所述中空圆柱还包括至少一X向柔性坡口和一Y向柔性坡口，所述X向、Y向柔性坡口均为中心对称的两个圆形开口。

5. 如权利要求1所述的用于隔振的柔性装置，其特征在于，所述螺旋坡口的圈数范围为1至30圈。

6. 如权利要求2或4所述的用于隔振的柔性装置，其特征在于，所述螺旋坡口的圈数范围为1至5圈。

7. 如权利要求1所述的用于隔振的柔性装置，其特征在于，所述螺旋坡口的截面长度小于所述中空圆柱的厚度。

8.如权利要求1所述的用于隔振的柔性装置，其特征在于，所述螺旋坡口的截面长度大于所述中空圆柱的厚度。

9. 如权利要求1所述的用于隔振的柔性装置，其特征在于，所述螺旋坡口的截面形状为圆形、椭圆形、三角形、正方形或梯形中的任意一种。

10. 如权利要求1所述的用于隔振的柔性装置，其特征在于，所述柔性装置的X、Y、Z以及Rx、Ry和Rz 6个自由度可以在材料允许的弹性范围内变形，在Z方向刚度范围为1                                                N/mm至5N/mm， 在X和Y方向刚度基本相等，刚度范围为5 N/mm至10N/mm。

11.一种使用如权利要求1至10任一项所述的柔性装置的光刻设备，其特征在于，包括：

一照射系统，用于形成一图案化的辐射束；

一投影物镜，用于将所述图案化的辐射束投影到衬底的目标部分；

一工件台，用于支持所述衬底；

一框架减震系统，用于衰减至少部分所述投影物镜的振动，所述框架减震系统包括一减少基础框架上低频振动的主动减振器，以及隔离主基板上残余振动加速度的柔性装置。

12.如权利要求11所述的光刻设备，其特征在于，所述柔性装置的数量为三组，所述三组柔性装置按圆周分布于所述投影物镜，所述三组柔性装置分布呈等边三角形。