[发明专利]一种TiB2/Si-Al电子封装复合材料及制备方法有效

专利信息
申请号: 201210527903.6 申请日: 2012-12-10
公开(公告)号: CN103045926A 公开(公告)日: 2013-04-17
发明(设计)人: 杨滨;卢毅;张磊;王西涛 申请(专利权)人: 北京科技大学
主分类号: C22C29/18 分类号: C22C29/18;C22C1/02
代理公司: 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 代理人: 皋吉甫
地址: 100083*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 tib sub si al 电子 封装 复合材料 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种TiB2/Si-Al电子封装复合材料,其特征在于:该复合材料的化学组成以重量百分比计为xTiB2/ySi-Al,其中1.0≤x≤2.0,60≤y≤70。

2.根据权利要求1所述的一种TiB2/Si-Al电子封装复合材料的制备方法,其特征在于:工艺过程包括配制混合盐、熔炼(60~70)wt%Si-Al合金、熔铸-原位合成TiB2颗粒、喷射沉积成形TiB2/Si-Al复合材料和TiB2/Si-Al复合材料热等静压五个阶段;具体制备步骤为:

a、配制混合盐:按原子计量比Ti:B=1:2.2配比K2TiF6和KBF4混合盐,混匀并经300℃烘干;

b、熔炼(60~70)wt%Si-Al合金:将占(60~70)wt%的纯Si,其余为工业纯Al的原材料放入中频感应电炉中升温熔化;

c、熔铸-原位合成TiB2颗粒:将步骤b所述(60~70)wt%Si-Al合金熔体加热至熔点以上50~150℃保温5-15分钟使其均匀化;然后,迅速加入0.8--2.5%步骤a所述的K2TiF6和KBF4混合盐,用石墨搅拌器充分搅拌5~15分钟后再保温15分钟,扒除表面残渣;

d、喷射沉积成形TiB2/Si-Al复合材料:利用喷射沉积成形技术制备TiB2/Si-Al复合材料,喷射成形工艺参数选择如下:雾化气体:氮气或氩气,纯度分别为:99.8和99.9%;雾化压力:0.6~0.8MPa;沉积距离:610~650mm;导流管直径:4.0~4.3mm;

e、TiB2/Si-Al复合材料热等静压:喷射成形TiB2/Si-Al复合材料的致密化在QIH-15型热等静压试验机上进行;热等静压工艺参数选择如下:压强150~170MPa,温度580~620℃,保压4h,工作介质为氩气。

3.根据权利要求2所述的所述的一种TiB2/Si-Al电子封装复合材料的制备方法,其特征在于:所述K2TiF6和KBF4的纯度均高于97wt%;纯Si和工业纯Al均为块状物,纯度分别为98wt%和99.7wt%,块度为4~6mm。

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