[发明专利]量产同测方法有效
申请号: | 201210507580.4 | 申请日: | 2012-11-30 |
公开(公告)号: | CN102944808B | 公开(公告)日: | 2017-04-19 |
发明(设计)人: | 王磊 | 申请(专利权)人: | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
主分类号: | G01R31/02 | 分类号: | G01R31/02;G01R19/00;G01R31/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人: | 郑玮 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 量产 方法 | ||
技术领域
本发明涉及测试领域,更具体地说,本发明涉及一种高效的量产同测方法。
背景技术
在电路设计与制造过程中,需要对晶圆、裸片或者电路进行大量测试。在大批量生产电路的情况下,需要进行量产测试。
具体地说,例如在电路测试时会遇到要测试带负载下的模拟输出电压信号(例如稳压管的输出)或者需要进行开短路测试(OPEN/SHORT测试,O/S测试)的情况。其中,开短路测试就是测试开路与短路,具体点说就是测试一个电子器件应该连接的地方是否连接,如果没有连接上就是开路,如果不应该连接的地方连接了就是短路。在晶圆制造领域,开短路测试可用来测试探针与晶圆上的焊盘(PAD)是否良好接触。
一般,为了进行并行的带负载下的模拟输出电压信号测试,需要为每个引脚配置一个精密测量单元,但是,每个引脚配置一个精密测量单元需要花费较高的成本,而一般的测试装置不会进行如此昂贵的配置。如果测试仪没有为每个引脚配置一个精密测量单元,则无法进行并行的带负载下的模拟输出电压信号测试;这样的话,只能依次对各个引脚进行带负载下的模拟输出电压信号测试;由此,当存在大量裸片(die)需要测试,将耗费大量的时间。
对于上述情况以及与上述情况类似的情况,则无法以简单方式实现快速量产测试。
因此,希望能够提供一种以简单方式实现快速量产测试的技术方案。例如,希望能够提供一种在无需为每个引脚配置一个精密测量单元的情况下实现快速带负载下的模拟输出电压信号测试的技术方案。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷,提供一种能够在以简单方式实现模拟输出电压信号的快速量产测试的量产同测方法。
为了实现上述技术目的,根据本发明,提供了一种量产同测方法,其包括:量产同测方法,其包括:使用用于测量数字信号的电桥以及窗口比较器来测试模拟输出电压信号;其中使用电桥来拉灌电流,使用窗口比较器用于获取测试结果,从而可以根据窗口比较器的测试结果判断是否通过测试;其中,电桥包括第一二极管、第二二极管、第三二极管、以及第四二极管,其中,第一二极管和第二二极管的输入端相连,第三二极管和第四二极管的输出端相连,第一二极管连接至第四二极管的输入端,第二二极管的输出端连接至第三二极管的输入端;其中,第一二极管与第二二极管之间的连接点连接至第一灌电流,第二二极管与第三二极管之间的连接点连接至待测器件;第三二极管与第四二极管之间的连接点连接至第二灌电流;第四二极管与第一二极管之间的连接点连接至基准电压。
优选地,根据测试确定所述第一参考电压的数值以及所述第二参考电压的数值。
优选地,根据测试确定根据测试确定所述基准电压的大小、所述第一灌电流的大小、以及所述第二灌电流的大小。
优选地,所述量产同测方法用于开短路测试或者带负载下的模拟输出电压信号。
优选地,所述量产同测方法用于负载驱动的电压测试。
优选地,所述量产同测方法用于稳压管的负载驱动能力测试。
优选地,当待测器件的连接端的电势小于第二参考电压,测试结果表示测试失败;当待测器件的连接端的电势大于第一参考电压,测试结果表示测试失败;当待测器件的连接端的电势不小于第二参考电压且不大于第一参考电压时,测试结果测试通过。
本发明提供了一种能够以简单的用于测量数字信号的电桥以及窗口比较器来实现模拟输出电压信号的快速量产测试的量产同测方法。而且,在带负载下的模拟输出电压信号测试的情况下,根据本发明的量产同测方法在无需为每个引脚配置一个精密测量单元的情况下实现快速带负载下的模拟输出电压信号测试,能够在多点测试的情况下执行并行测试,由此节省了大量的测试时间。
附图说明
结合附图,并通过参考下面的详细描述,将会更容易地对本发明有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征,其中:
图1示意性地示出了根据本发明实施例的量产同测方法。
图2示意性地示出了根据本发明实施例的量产同测方法的测试结果判断的一个具体示例。
需要说明的是,附图用于说明本发明,而非限制本发明。附图中,相同或者类似的元件标有相同或者类似的标号。
具体实施方式
为了使本发明的内容更加清楚和易懂,下面结合具体实施例和附图对本发明的内容进行详细描述。
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