[发明专利]杯芳烃化合物和包含该杯芳烃化合物的抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种分子玻璃化合物，其包含：

A)式(I)的芳族化合物与式(II)的多环或稠合多环芳香醛的四聚反应产物：

C₆R¹_x(OR²)_y    (I)

其中R¹为H、F、C_1-20烷基、C_1-20卤烷基、C_6-20芳基、C_6-20卤芳基、C_7-20芳烷基、或C_7-20卤代芳烷基，R²为H、C_1-20烷基、C_1-20卤烷基，x为6-y且y为2或3，至少一个OR²基团为羟基，并且至少两个OR²基团是彼此处于间位的；

Ar¹-CHO    (II)

其中，Ar¹是取代的、卤取代的或非取代的C_4-20杂环含芳族基团的基团，或取代的、卤取代的或非取代的C_8-20稠合多环芳族部分，和

B)酸可除去保护基团，其作为与芳族化合物的羟基的加合物、与所述多环或稠合多环芳香醛的羟基的加合物、或与包括以上至少之一的组合的加合物。

2.根据权利要求1所述的分子玻璃化合物，其中，(I)式的所述芳族化合物是间苯二酚、邻苯三酚、3-甲氧基苯酚或3-乙氧基苯酚。

3.根据权利要求1所述的分子玻璃化合物，其中式(II)中的Ar¹为C_8-30芳基、C_8-30杂芳基、C_8-30卤代芳基、C_8-30杂卤代芳基、C_8-30芳烷基、或者C_7-20卤代芳烷基。

4.根据权利要求1所述的分子玻璃化合物，其中所述多环或稠合多环芳香醛具有结构式(III)或(IV)：

其中，X是C(R⁶)₂、NR⁷、S或O，R³到R⁷各自独立地为H、F、C_1-20烷基、C_1-20卤代烷基、C_6-20芳基、C_6-20卤代芳基、C_7-20芳烷基或C_7-20卤代芳烷基，a、c和d各自独立地是1到3的整数，b是1到4+a的整数。

5.根据权利要求1所述的分子玻璃化合物，其中，所述酸可除去保护基团是乙烯基醚的加合物、叔烷基酯的加合物、叔烷基羰基的加合物、或者包括以上至少之一的组合的加合物。