[发明专利]手动式直接曝光装置的工作台保护装置

说明书

技术领域

本发明涉及对基板进行曝光的手动式直接曝光装置的工作台保护装置。

背景技术

这种直接曝光装置大体上分为自动化地连续输送基板而进行曝光的自动式装置，以及手动进行基板装卸（置位复位）而进行曝光的手动式装置。在作为本发明对象的手动式装置中，用于载置基板的基板工作台在装卸部（装卸位置）和曝光部（曝光位置）之间移动，在装卸部处，操作者将基板装载到基板工作台上，或从基板工作台上卸下基板。

专利文献1：日本特开2005－316411号公报

发明内容

发明要解决的问题

在该手动式直接曝光装置中，一直以来通过在基板工作台的装卸部设置机械式的开闭门来防止尘埃进入。也就是说，在打开开闭门的状态下，向位于装卸部的基板工作台装载基板或从位于装卸部的基板工作台卸下基板，装卸完成后再关闭开闭门。但是，本发明人发现，机械式的开闭门在开闭时容易产生尘埃，这些尘埃会对基板的曝光带来不良影响，从而成为产品的成品率变差的原因之一。

因而，本发明的目的在于获得一种手动式直接曝光装置的工作台保护装置，通过该工作台保护装置，在手动式直接曝光装置中，在开闭基板工作台的装卸部的上部时很少会产生尘埃，或者能够容易地去除产生的尘埃。

用于解决问题的方案

本发明是着眼于使用能够简便地进行开闭动作、很少产生尘埃的卷帘来取代机械式的开闭门而完成的。

本发明的手动式直接曝光装置的工作台保护装置用于手动式直接曝光装置中，该手动式直接曝光装置使用于载置基板的基板工作台在用于装卸基板的装卸部和用于对基板进行曝光的曝光部之间移动，该工作台保护装置的特征在于，装卸部朝上方敞口；在该曝光装置的主体上支承有用于开闭装卸部的上部的卷帘的卷轴；以及在与卷轴相对的位置设有用于对从卷帘拉出而覆盖装卸部的帘幕的前端进行卡定的卡定部。

在优选的实施方式中，主体具有曝光部和与该曝光部相连的上述装卸部，该曝光部内置有用于对基板执行曝光的曝光单元。此时，上述卷轴支承部实际上固定于上述曝光部的外表面。

优选的是，卷帘的卷轴支承部设置在比卡定部距离地面高的位置。

优选的是，在卷帘的卷轴支承部上支承有除尘部件，该除尘部件位于卷绕于卷轴支承部上的卷帘的表面侧和背面侧二者中的至少一面侧，并且与卷帘相接触或与卷帘相邻。

优选的是，卷帘的卷轴支承部具体设置在卷帘单元的壳体的两侧壁上，该壳体固定于曝光部的外表面，在壳体上形成有用于导出帘幕的狭缝。

发明的效果

本发明由于在手动式直接曝光装置中用卷帘开闭基板工作台的装卸部的上部，因此，很少伴随开闭而产生尘埃。另外，通过使关闭状态的帘幕从曝光部侧到卡定部向下倾斜，能利用装置周围的顺流落差（down flow）将落在帘幕上的尘埃去除到装置外。此外，通过给卷帘设置清洁辊等除尘部件，能够容易地去除产生的尘埃。因此，能够获得能够防止产生的尘埃对基板的曝光带来不良影响，从而导致产品的成品率变差的手动式直接曝光装置的工作台保护装置。

附图说明

图1是表示本发明的手动式直接曝光装置的工作台保护装置的一实施方式的、卷帘拉出状态的立体图。

图2是上述卷帘的卷收（收起）状态的立体图。

图3是具有上述卷帘的装卸部的侧视图。

图4是表示上述卷帘的动作的一个例子的侧视图。

图5是表示具有本发明的工作台保护装置的手动式直接曝光装置的基板工作台的驱动机构的具体例子的立体图。

图6是表示具有上述本发明的工作台保护装置的手动式直接曝光装置的曝光部的光学结构的一个例子的立体图。

图7是说明在图6的曝光部的光学结构中，对基板进行扫描的形态的图。

图8是说明对上述基板进行扫描的形态的图。

图9是表示对曝光部进行控制的控制系统的框图。

图10是卷帘单元的主要部分的主视图。

图11是图10的XI向视侧视图。

具体实施方式