[发明专利]容纳液体或含液体物质的衬、容器及方法

权利要求书

1.一种设置成容纳液体或含液体物质的衬，所述衬包括：

第一薄片，其包括内层片，邻接至单独的外层片，该外层片包括乙烯-乙烯醇(EVOH)层和尼龙层中的至少一种；

第二薄片，其包括内层片，邻接至单独的外层片，该外层片包括EVOH层和尼龙层中的至少一种；以及

至少一个焊接的边缘接缝，在所述第一薄片和所述第二薄片的边缘附近将所述第一薄片连接至所述第二薄片以形成适合在其中容纳液体或含液体物质的衬。

2.根据权利要求1所述的衬，其中所述第一薄片和所述第二薄片每一个的所述内层片包括高纯度中密度聚乙烯，所述第一薄片和所述第二薄片每一个的所述外层片包括：第一层，挨着该内层片，包括聚乙烯，挨着所述第一层的酐改性的聚乙烯的第一粘结层，以及EVOH层和尼龙层中的至少一种，其中所述第一粘结层设置在所述第一层与所述EVOH层和尼龙层中的至少一种之间。

3.根据权利要求1所述的衬，其中所述第一薄片和所述第二薄片每一个的所述外层片的厚度在2密耳至4密耳的范围。

4.根据权利要求1所述的衬，其中所述第一薄片和所述第二薄片第一层每一个的所述内层片包括中密度聚乙烯。

5.根据权利要求1所述的衬，其中所述第一薄片和所述第二薄片每一个的所述外层片包括线型低密度聚乙烯。

6.根据权利要求1所述的衬，其中所述第一薄片和所述第二薄片每一个的所述外层片包括EVOH层。

7.根据权利要求1所述的衬，其中所述第一薄片和所述第二薄片每一个的所述外层片包括尼龙层。

8.根据权利要求1所述的衬，其中所述第一薄片和所述第二薄片每一个的所述外层片包括EVOH层和尼龙层。

9.根据权利要求1所述的衬，其中所述第一薄片和所述第二薄片每一个的所述内层片与所述外层片相结合的厚度在5-6密耳范围。

10.根据权利要求1所述的衬，其中所述第一薄片和所述第二薄片每一个的所述外层片包括(a)粘结层和(b)包括聚乙烯的层。

11.根据权利要求10所述的衬，其中所述包括聚乙烯的层进一步包括抗粘材料。

12.根据权利要求1所述的衬，含有液体或含液体物质。

13.根据权利要求12所述的衬，其中所述液体或含液体物质包括微电子器件生产试剂。

14.一种用于分配液体或含液体物质的容器，所述容器包括设置在硬质外包装或容器内的根据权利要求1所述的衬。

15.根据权利要求14所述的容器，被设置成压力调节分配液体或含液体物质。

16.根据权利要求15所述的容器，包括汲取管。

17.根据权利要求14所述的容器，包括设置成与所述硬质外包装或容器相配合的帽。

18.根据权利要求17所述的容器，包括设置成与帽相配合的分配头，所述分配头包括设置成插入到所述衬的汲取管。

19.根据权利要求14所述的容器，包括适于连接至加压气体源用于从所述衬压力调节分配液体或含液体物质的通道或者连接结构。

20.根据权利要求14所述的容器，设置成通过排放管将液体或含液体物质供应到微电子器件生产装置。

21.一种用于生产微电子器件的方法，包括使用权利要求14至20任一项所述的容器将液体或含液体物质供应到微电子器件生产装置。

22.一种包装液体或含液体物质的方法，包括将所述液体或含液体物质限制在权利要求1至13任一项所述的衬中。