[发明专利]一种电极位于同一面的石英晶体振子

说明书

技术领域

本发明涉及一种电极位于同一面的石英晶体振子，属于电子元器件技术领域。用于石英晶体振荡器和石英晶体微天平传感器等。

背景技术

石英晶体振子可以作为检测微量物质的传感器，利用石英晶体振子的频率变化与晶体表面的质量变化成正比的原理，可检测电极表面ng级的质量变化及溶液的粘度、密度、修饰膜粘弹性等参数的变化，具有灵敏度高，可以实时测量等特点，可作为在线跟踪监测微观过程变化的手段，在现代化学、材料科学、生物学和医学等方面开展微观过程和作用机理的探索研究，在很多应用领域呈现出良好的发展前景。石英晶体振荡器的核心部件是石英晶体振子，它包括石英晶体片本体以及石英晶体片表面的镀膜层，镀膜层通常为优良的导电体，以作为电极。一般地，作为电极的镀膜层分别设置在石英晶体片的两面，加电时以厚度切向方式激励振荡。美国专利US7075216B1公开了一种“侧场激励声波传感器”（Lateral field excited acoustic wave sensor）其特征是在石英晶体片表面镀有两个以对称的半圆形金属膜作为电极，此设计起动振荡困难，有电极的一面不易作为检测工作面，且灵敏度较低。

发明内容

针对上述现有技术的不足，本发明提供一种电极位于同一面的石英晶体振子，可简化制作工艺，提高检测灵敏度，使用灵活方便。

为实现上述技术目的，本发明采取以下技术方案：一种电极位于同一面的石英晶体振子，包括石英晶体片本体以及石英晶体片表面的电极，其特征是，它的两个电极设置在石英晶体片的同一面，其中一个电极位于该面的中心，为圆形并向边缘伸出引线，另一个电极为开口环形环绕于前述电极的周围并向边缘伸出引线，两个电极电绝缘，所述电极以优良导电体为材料。石英晶振片的无电极的一面，可以根据需要制作成为不同的检测工作面。

本发明的有益效果是，石英晶体振子的一对电极板设置在晶体的同一侧，制造时可以一次性完成单面镀膜，不需双面镀膜，简化了制作工艺。其背面作为传感器的检测工作面，可根据需要选择不同的镀膜或进行特殊的表面制备，并且谐振电路电极与传感器的检测工作面电分离， 排除了该电极在其它用途时对谐振电路电极的影响。此种电极的设置方式使传感器的检测工作面的质量灵敏度提高1—2倍 ，并使石英晶体振子的应用领域更为广阔。

附图说明

图1—图6为本发明实施例1的结构示意图，图中所示石英晶体振子的背面设置镀膜。图7—图12为本发明实施例2的结构示意图，图中所示石英晶体振子的背面不设置镀膜。

具体实施方式

实施例1、如图1—图6所示，一种电极位于同一面的石英晶体振子，包括石英晶体片本体以及石英晶体片表面的电极，它的两个电极设置在石英晶体片的同一面，其中一个电极位于该面的中心，为圆形并向边缘伸出引线，另一个电极为开口环形位于前述电极的周围，两个电极电绝缘，所述电极以优良导电体为材料，如金或银。石英晶体振子的无电极的一面，设置金属镀膜，作为检测工作面。

实施例2、如图7—图12，一种电极位于同一面的石英晶振片，包括石英晶体片本体以及石英晶体片表面的电极, 它的两个电极设置在石英晶体片的同一面，其中一个电极位于该面的中心，为圆形并向边缘伸出引线，另一个电极为开口环形位于前述电极的周围，两个电极电绝缘，所述电极以优良导电体为材料，如金或银。石英晶体振子的无电极一面，不设置金属镀膜。