[发明专利]一种EB炉熔炼室抽真空的方法

说明书

技术领域

本发明方法属于一种对EB炉（电子束熔炼炉），尤其是3200KW EB炉熔炼室抽真空的方法技术领域。

技术背景

现有的3200KW EB炉（电子束熔炼炉），作为熔炼钛锭的一种主要设备。EB炉熔炼需要在比较高的真空条件下进行。熔炼室则是进行熔炼工作的主要工作室，相对空间大，真空易泄露点多，所以抽空难度大，速度慢。

现有抽空方法：将熔炼室，主进料室，拉锭室，旋转进料室单独抽真空，等待所有炉室都抽到一定真空度时，将连接阀打开。由于各个炉室真空度不一样，会造成真空度的下降，有时可能需要从新抽真空，或者因为真空度差异大，造成连接阀门不易被打开。影响效率和设备安全。

发明内容

为达到快速对EB炉熔炼室抽真空，本发明提供一种能够在较短时间内对EB炉熔炼室进行有效抽真空的方法。尤其是针对3200KW EB炉的抽真空方法。

本发明采用如下技术方案实现。

一种EB炉熔炼室抽真空的方法，本发明特征在于，

1、确保所有炉室关闭并做好抽空准备；

2、打开旋转加料器柱塞阀、块料加料器隔离阀和熔炼室隔离阀；

3、启动维持泵P-GP4-01 和P-GP7-01；这些维持泵供熔炼室扩散泵使用；

4、打开维持泵和熔炼室扩散泵之间的真空阀；

5、打开熔炼室扩散泵；维持泵需要在真空阀打开的情况下运行5～8分钟后才能启动扩散泵；扩散泵将需要加热50～65分钟，以将其油加热至工作温度；

6、启动主要真空泵组GP1、GP2 和GP3；

7、打开真空泵组前方第一个真空阀；

8、打开真空阀SVO-GVH-01 和SVO-GVH-02；

9、打开熔炼室真空阀SVO-GMC-01，开始粗抽真空所有炉室；粗抽真空为50～65分钟，以达到可让扩散泵提升阀打开的真空度；

10、当熔炼室提升阀的许可指示器显示绿色时，关闭熔炼室真空阀，并打开熔炼室提升阀；此时扩散泵正将炉室抽真空至高真空度；本EB 系统允许抽吸至少8小时，以抽除炉室内的水分和氧气；抽气时间可更长或更短，由抽气前熔炼炉条件决定；

11、当达到适当的极限真空度时，可关闭提升阀，并可进行泄漏测试；

12、一旦达到合格高真空状态后，在开始熔炼之前，将水系统从温水切换为工厂水。

本工艺设计的有益效果是：利用此方法对EB炉熔炼室抽真空，能够较快速的得到熔炼所需真空度，这样既有效地节约了熔炼成本，又很好的延长了抽空设备的寿命。

下面结合附图和具体实施方式对本发明做进一步解释。

附图说明

图1为本发明操作结构示意图。

具体实施方式

见图1，一种EB炉熔炼室抽真空的方法，本发明特征在于，

1、确保所有炉室关闭并做好抽空准备；

2、打开旋转加料器柱塞阀、块料加料器隔离阀和熔炼室隔离阀；

3、启动维持泵P-GP4-01 和P-GP7-01；这些维持泵供熔炼室扩散泵使用；

4、打开维持泵和熔炼室扩散泵之间的真空阀；

5、打开熔炼室扩散泵；维持泵需要在真空阀打开的情况下运行5～8分钟后才能启动扩散泵；扩散泵将需要加热50～65分钟，以将其油加热至工作温度；

6、启动主要真空泵组GP1、GP2 和GP3；

7、打开真空泵组前方第一个真空阀；

8、打开真空阀SVO-GVH-01 和SVO-GVH-02；

9、打开熔炼室真空阀SVO-GMC-01，开始粗抽真空所有炉室；粗抽真空为50～65分钟，以达到可让扩散泵提升阀打开的真空度；

10、当熔炼室提升阀的许可指示器显示绿色时，关闭熔炼室真空阀，并打开熔炼室提升阀；此时扩散泵正将炉室抽真空至高真空度；本EB 系统允许抽吸至少8小时，以抽除炉室内的水分和氧气；抽气时间可更长或更短，由抽气前熔炼炉条件决定；

11、当达到适当的极限真空度时，可关闭提升阀，并可进行泄漏测试；

12、一旦达到合格高真空状态后，在开始熔炼之前，将水系统从温水切换为工厂水。