[发明专利]多晶硅切割废砂浆回收废水的处理工艺

权利要求书

1.一种多晶硅切割废砂浆回收废水的处理工艺，其特征在于：其包括如下步骤：将多晶硅切割砂浆回收废水经调节pH至9.5~9.9进行反应，压滤，经由Fenton氧化处理，然后经水解酸化处理，再经UASB厌氧处理，之后经好氧接触氧化处理，最后经二沉池沉淀进行固液分离即可。

2.如权利要求1所述的处理工艺，其特征在于：所述的多晶硅切割废砂浆回收废水为：COD值为15000mg/L～25000mg/L，pH为11~13，SS浓度为10000mg/L~30000mg/L，硅酸根浓度为20000mg/L~30000mg/L。

3.如权利要求1所述的处理工艺，其特征在于：所述的调节pH反应使用的酸为盐酸；所述的调节pH反应的时间为24min~32min；所述的压滤为板框压滤。

4.如权利要求1所述的处理工艺，其特征在于：所述的Fenton氧化处理包括如下步骤：先调pH为3~4，与Fe²⁺和H₂O₂进行fenton反应，之后pH中和、絮凝沉淀，进沉淀池经固液分离后出水。

5.如权利要求4所述的处理工艺，其特征在于：所述的调pH为3~4的调节剂为盐酸；所述的调pH 3~4为调至pH至3.5；所述的Fe²⁺和H₂O₂的用量为摩尔比（1:3）~（1:4）；所述的Fe2+投加量为300mg/L~500mg/L；所述的Fenton反应时间为45min~60min；所述的pH中和的pH值为6.5~7.5；所述的絮凝沉淀为使用絮凝剂进行絮凝沉淀，聚丙烯酰胺5mg/L~8mg/L；所述的沉淀池的停留时间为1.5h~2h。

6.如权利要求5所述的处理工艺，其特征在于：所述的Fe²⁺投加量为400mg/L~500mg。

7.如权利要求1所述的处理工艺，其特征在于：所述的水解酸化处理的停留时间控制在5h~7h；所述的UASB厌氧处理的停留时间为60h~80h；所述的UASB厌氧处理的上升流速为0.3m/h~0.5m/h；所述的UASB厌氧处理的出水回流比为100%～150%。

8.如权利要求1所述的处理工艺，其特征在于：所述的好氧接触氧化处理的水力停留时间为24h~32h；所述的好氧接触氧化处理的容积负荷为3kgCOD/m³·d~4kgCOD/m³·d。

9.如权利要求8所述的处理工艺，其特征在于：所述的好氧接触氧化处理的水力停留时间为24h~30h。

10.如权利要求1所述的处理工艺，其特征在于：所述的二沉池的表面负荷为1m³/m²·h~1.5m³/m²·h；所述的二沉池的停留时间为2h~3h。