[发明专利]无滑动式闸阀

说明书

技术领域

本发明涉及一种闸阀，其安装在半导体处理装置中的真空腔上，在与该真空腔连通的开口的开闭中使用，更详细地说涉及能够无滑动地开闭所述开口的无滑动式闸阀。

背景技术

在半导体处理装置中，在与真空腔连通的开口的开闭中使用闸阀。该闸阀一般具有开闭开口的阀板、与该阀板连结的阀轴、和与该阀轴连结的气缸，由该气缸操作所述阀轴，由此，使所述阀板的阀密封件相对于所述开口周围的阀座面接近分离地开闭该开口。

所述闸阀有如下方式：通过以一点为支点使所述阀轴倾动来开闭操作阀板的方式；通过使所述阀轴及阀板相对于阀座面垂直地移动来开闭操作该阀板的方式。

其中，在使阀轴倾斜来开闭操作阀板的方式的闸阀中，所述阀密封件与阀座面接触之后，当为了获得规定的推压力，继续使阀轴倾动时，阀板相对于阀座面在沿着该座面的方向上位移，从而存在如下的可能性：在所述阀密封件和阀座面之间发生摩擦，或者阀密封件在安装槽内转动，产生磨损粉末，成为阀的清洁化的损害。

与之相对，使阀轴及阀板相对于阀座面垂直地移动来开闭操作该阀板的方式的闸阀，由于在阀密封件和阀座面之间不发生摩擦，从而不用担心产生磨损粉末。在下述的专利文献1中公开了在阀密封件和阀座面之间不发生摩擦的无滑动的闸阀。该闸阀是在气缸的驱动杆（推进轴）和阀轴（阀棒）之间夹设多个连杆、凸轮随动件和导向槽，使阀板从开放位置到与开口相对的位置相对于该开口周围的阀座面平行地移动之后，再相对于该阀座面垂直地移动，由此关闭所述开口。

专利文献1：日本特开平11－351419号公报

但是，在所述专利文献1公开的闸阀中，组合多个连杆、凸轮随动件和导向槽而构成用于使所述阀板相对于阀座面垂直地移动的机构，从而存在零件个数变多、构造复杂、操作也复杂的难点。

发明内容

本发明的目的是提供一种无滑动式闸阀，仅将使用了凸轮的简单的机构夹设在气缸的驱动杆和阀轴之间，就能够使所述阀轴及阀板相对于阀座面垂直地移动来开闭开口。

为实现所述目的，根据本发明提供一种闸阀，具有：被收容在具有开口的阀箱内的阀板；安装在该阀板上的阀密封件；与所述阀板连结的阀轴；将驱动杆连结于该阀轴的气缸，通过由该气缸使所述阀轴移动，由此，所述阀板从与所述开口非相对的全开位置，经由与所述开口相对的相对位置，移动到将阀密封件压抵在所述开口周围的阀座面上而关闭该开口的关闭位置。

该闸阀具有：能够相对位移地连结所述驱动杆和阀轴的连结机构；使所述阀板及阀轴从所述全开位置向相对位置与所述阀座面平行地移动的平行移动机构；使所述阀板及阀轴从所述相对位置向关闭位置相对于所述阀座面垂直地移动的垂直移动机构，所述连结机构具有：被固定在所述驱动杆上的杆臂；被固定在所述阀轴上的杠杆部件；被夹设在该杠杆部件和所述杆臂之间的压缩弹簧，所述平行移动机构具有：以分别与所述杠杆部件的左侧面和右侧面面对的方式被固定在所述杆臂上的左右一对凸轮框架；与所述阀座面平行地形成在各凸轮框架上的导向槽；被安装在左右一对辊框架上并嵌合于所述导向槽的导向辊，所述左右一对辊框架固定于安装有所述阀箱的阀盖上，所述垂直移动机构具有：凸轮槽，以相对于所述阀座面倾斜的朝向形成在所述一对凸轮框架的每一个上；凸轮辊，分别被安装在所述杠杆部件的左侧面和右侧面上并嵌合于所述凸轮槽。

在本发明中，优选的是，在所述一对凸轮框架的每一个上形成有一个所述导向槽和两个所述凸轮槽，在所述杠杆部件的左侧面和右侧面分别安装有两个所述凸轮辊。

在该情况下，优选的是，所述导向槽与所述阀轴的轴线平行地形成，所述两个凸轮槽和嵌合于该凸轮槽的所述两个凸轮辊沿所述阀轴的轴线方向被配置成两级。

在本发明中，也可以在所述凸轮框架的宽度方向的一个半侧形成有所述导向槽，在所述凸轮框架的宽度方向的另一个半侧形成有所述凸轮槽，或者，也可以在所述凸轮框架的与所述辊框架面对的外表面上形成有所述导向槽，在所述凸轮框架的与所述杠杆部件面对的内表面上形成有所述凸轮槽。

在本发明中，优选的是，所述导向槽是一端开放的槽，在所述左右的辊框架的每一个上安装有多个所述导向辊，在所述阀板的全开位置，至少一个导向辊嵌合于所述导向槽，在所述阀板的相对位置及关闭位置，全部的导向辊嵌合于所述导向槽。

在本发明的一个实施方式中，被配置成两级的所述凸轮槽是接近所述阀板的第一凸轮槽和远离所述阀板的第二凸轮槽，所述第一凸轮槽和第二凸轮槽相对于所述阀轴的轴线的倾斜角度相互相等。