[发明专利]一种栅极开启电压的测量方法有效
| 申请号： | 201210428501.0 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN103792473A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 王明;连晓谦 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 栅极 开启 电压 测量方法 | ||
1.一种栅极开启电压的测量方法，其特征在于，该方法包括步骤：
1）提供待测MOS晶体管；
2）对所述MOS晶体管的栅极施加扫描电压，并测量该MOS晶体管的源漏极电流，绘制漏源电流-栅极电压曲线；
3）将测量得到的源漏电流与一参考值比较，如果该源漏电流大于所述参考值，执行步骤4），如果该源漏电流小于所述参考值，返回步骤2)；
4）利用跨导法，在所述漏源电流-栅极电压曲线上测量并得到开启电压。
2.如权利要求1所述的栅极开启电压的测量方法，其特征在于：所述步骤2）中，测量漏源极电流之前，还包括对漏源极施加一工作电压。
3.如权利要求1所述的栅极开启电压的测量方法，其特征在于：所述步骤3）中的参考值为10nA～20nA。
4.如权利要求1所述的栅极开启电压的测量方法，其特征在于：所述步骤4）中的跨导法，包括步骤：
4.1）对漏源电流-栅极电压曲线上以选定步长求跨导，并将前一个步长上的跨导值与后一个步长上的跨导值比较；
4.2）当步骤4.1）中的比较结果为前一个步长上的跨导值大于后一个步长上的跨导值时，将该前一个步长上的跨导值返回为最大跨导点；
4.3）以该最大跨导点对应的漏源电流-栅极电压曲线上的点做切线，计算得到开启电压。
5.如权利要求1所述的栅极开启电压的测量方法，其特征在于：所述步骤2）中的对栅极施加扫描电压是通过测试探针实现的。
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