[发明专利]一种提高加速度计摆片激光切割质量的方法

权利要求书

1.一种提高加速度计摆片激光切割质量的方法，其特征在于通过以下步骤实现：

第一步，制作切割辅助装置，

切割辅助装置包括本体(1)、支撑环(2)、定位孔(3)、紧固螺丝(4)、垫片(5)和基准标记线(6)，支撑环(2)为环形台阶结构，形成上、下两个表面，其中台阶上表面(12)与本体(1)上表面等高，台阶下表面(13)为圆环，在支撑环(2)外侧的本体上加工定位孔(3)和基准标记线(6)，在支撑环(2)外侧的本体上安装紧固螺丝(4)和垫片(5)；

第二步，将待加工的摆片安装在切割辅助装置中，

将牺牲片和摆片坯料放置在支撑环(2)上，使摆片坯料夹在上下牺牲片之间，利用支撑环(2)周向定位摆片坯料和牺牲片，利用支撑环(2)的台阶下表面支撑摆片坯料和牺牲片，利用紧固螺丝(4)和垫片(5)使摆片坯料和牺牲片紧密贴合；

第三步，将安装了待加工摆片的切割辅助装置(1)安装在激光机工作台上事先安装的振动装置(7)上，通过定位孔(3)将切割辅助装置(1)定位在振动装置(7)上，并利用切割辅助装置(1)的基准标记线(6)使切割辅助装置(1)与激光机对准，调整激光机激光头高度使激光焦点位于摆片坯料的上表面；

第四步，开启工作台上的振动装置(7)，使切割辅助装置(1)连同待加工摆片沿摆片厚度的方向进行振动，使激光焦点在摆片厚度内以一定的频率移动；

第五步，激光切割，

激光切割待加工的摆片，切割程序按照所需的摆片结构进行；

第六步，激光切割完成后，关闭振动装置(7)，将切割辅助装置(1)从激光机工作台上取下，然后将加工好的摆片和牺牲片从切割辅助装置(1)中取出。

2.根据权利要求1所述的一种提高加速度计摆片激光切割质量的方法，其特征在于：所述的第二步中牺牲片与摆片坯料的材质和外圆尺寸相同，厚度根据摆片而定，两片牺牲片与摆片坯料总厚度不超过1.5mm；所述的牺牲片和摆片坯料具有表面粗糙度Ra≤10nm。

3.根据权利要求1所述的一种提高加速度计摆片激光切割质量的方法，其特征在于：所述第一步中支撑环(2)的台阶高度小于摆片坯料和牺牲片的总厚度1mm～2mm。

4.根据权利要求1所述的一种提高加速度计摆片激光切割质量的方法，其特征在于：所述第四步中振动装置(7)以5～50Hz的频率，0.5～1mm的振幅进行振动。