[发明专利]血清肿瘤标志物检测的巨磁阻抗效应生物传感器制作方法

权利要求书

1.一种血清肿瘤标志物检测的巨磁阻抗效应生物传感器制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）采用MEMS工艺制作巨磁阻抗效应传感器，该巨磁阻抗效应传感器由位于玻璃基片上的NiFe/Cu/NiFe多层膜构成；

（2）在巨磁阻抗效应传感器上面制作绝缘层三氧化二铝，然后甩光刻胶、曝光、显影、刻蚀三氧化二铝、去胶，使传感器引脚暴露在外面；

（3）溅射Cr/Au薄膜，然后甩光刻胶、曝光、显影、刻蚀Cr/Au膜、去胶，使传感器引脚和传感器敏感部分的Au膜暴露在外面；

（4）Au膜上生物敏感膜的制备：生物敏感膜为一层纳米级厚度的自组装膜，自组装膜为11-巯基十一烷酸，然后经EDC+NHS活化形成的；

（5）肿瘤标志物单克隆抗体的固定：将肿瘤标志物单克隆抗体溶液滴入传感器Au膜上面，放入冰箱过夜；然后用PBS溶液清洗、BSA溶液封闭，最后用PBS溶液清洗、室温干燥；

（6）抗原点样：将抗原溶液滴入传感器表面，培育，然后用PBS溶液清洗，室温下干燥；

（7）生物素化抗体固定：将生物素化抗体溶液滴入传感器表面，室温培育，然后用PBS溶液清洗，室温下干燥；

（8）磁性标签固定：将磁性标签滴入传感器表面，室温下培育，然后用PBS溶液清洗，室温干燥。

2.根据权利要求1所述的血清肿瘤标志物检测的巨磁阻抗效应生物传感器制作方法，其特征在于，步骤（1）中，所述巨磁阻抗效应传感器外形呈曲折形结构，匝数为3-10匝，匝间距离为60um。

3.根据权利要求1或2所述的血清肿瘤标志物检测的巨磁阻抗效应生物传感器制作方法，其特征在于，步骤（1）中，所述NiFe/Cu/NiFe多层膜，其中Cu膜的宽度小于NiFe薄膜的宽度，NiFe薄膜的宽度为120-160um、厚度为2-6um，Cu膜宽度为100-140um、厚度为2-6um。

4.根据权利要求1所述的血清肿瘤标志物检测的巨磁阻抗效应生物传感器制作方法，其特征在于，步骤（2）中，所述绝缘层三氧化二铝，其厚度为小于1um。

5.根据权利要求1所述的血清肿瘤标志物检测的巨磁阻抗效应生物传感器制作方法，其特征在于，步骤（3）中，所述Cr/Au薄膜，其厚度为100-500nm。

6.根据权利要求1所述的血清肿瘤标志物检测的巨磁阻抗效应生物传感器制作方法，其特征在于，步骤（4）中，所述Au膜上生物敏感膜的制备，具体如下：

●Au清洗，用1M/L NaOH水溶液清洗10分钟，1M/L HCI水溶液清洗10分钟，水、无水乙醇清洗2次，干燥，臭氧紫外杀菌；

●用10-30mM 11-巯基十一烷酸无水乙醇溶液浸泡，室温3小时，无水乙醇清洗2次，N2气干燥；

●EDC+NHS活化，用PH=7.4的PBS溶液溶解EDC和NHS，其浓度分别为0.2M/L和50mM/L，然后取等体积的EDC和NHS溶液混合，室温下活化40分钟；

●用PH=7.4的PBS溶液清洗样品2-5次，室温干燥。

7.根据权利要求1所述的血清肿瘤标志物检测的巨磁阻抗效应生物传感器制作方法，其特征在于，步骤（5），所述肿瘤标志物单克隆抗体的固定，具体如下

●肿瘤标志物单克隆抗体溶于PH=7.4的PBS溶液中，浓度在0.5-1mg/ml，用量为一次5-10ul，滴入传感器Au膜上面，然后放入冰箱4℃过夜；或在蒸汽浴37℃下修饰30分钟，然后用PBS溶液清洗2-5次，此处PBS溶液的PH=7.4且含重量为1%的BSA；

●封闭，用100ul BSA溶液封闭，冰箱4℃放置2小时，所述BSA溶液含重量为1%的BSA、体积为0.2%的tween 20；

●用PH=7.4的PBS溶液清洗2-5次，室温干燥。

8.根据权利要求1所述的血清肿瘤标志物检测的巨磁阻抗效应生物传感器制作方法，其特征在于，步骤（6）中，所述抗原点样，具体如下：

抗原用PH=7.4的PBS溶液稀释，浓度为1-1000ng/ml，用量每次5-10ul，然后滴入传感器表面，室温下22℃培育1小时，或在蒸汽浴37℃下培育40分钟，然后用含有重量为1%的BSA、体积为0.2%的tween 20的PBS溶液清洗2次，室温下干燥。