[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其沿着工件的加工预定线照射激光束来切断工件，该激光加工装置具有：

工件台，其载置工件；

激光束输出部，其输出激光束；

偏转单元，其具有用于使从激光束输出部射出的激光束偏转的至少一个楔形棱镜；

会聚透镜，其使通过上述楔形棱镜后的激光束会聚到工件的加工预定线上；

扫描单元，其沿着工件的加工预定线扫描会聚后的激光束；以及

旋转控制单元，在沿着加工预定线扫描上述激光束时，该旋转控制单元使上述楔形棱镜绕光轴旋转，以使得上述会聚透镜形成的激光束的会聚点会聚于光轴上的一点。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，上述旋转控制单元使上述楔形棱镜旋转，使得在俯视工件时激光束与加工预定线的切线垂直。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其中，

上述偏转单元具有沿着光轴相对地配置的第1楔形棱镜和第2楔形棱镜，

上述旋转控制单元使上述第1楔形棱镜和上述第2楔形棱镜中的至少任意一方旋转来控制上述两个楔形棱镜的相位差。

4.根据权利要求3所述的激光加工装置，其中，

上述旋转控制单元具有：

第1中空电机，其内部配置有上述第1楔形棱镜；

第2中空电机，其内部配置有上述第2楔形棱镜；以及

控制部，其能够独立地控制上述第1中空电机和第2中空电机的旋转。