[发明专利]弹性表面波元件及电子零件

说明书

技术领域

本发明涉及一种利用了泄漏弹性表面波（Leaky Surface Acoustic Wave，LSAW）的弹性表面波元件、及具备所述弹性表面波元件的电子零件。

背景技术

Y-X钽酸锂（LiTaO₃：弹性表面波在X轴方向、于钽酸锂基板上传播的基板，该钽酸锂基板是相对于绕着结晶轴的X轴仅以某个角度旋转的Y轴而垂直切断）被用作利用弹性表面波（SAW：Surface Acoustic Wave）中的L（泄漏（Leaky））SAW的弹性表面波元件的代表性压电基板。所述弹性表面波元件是作为共振器等而构成，该共振器包括：叉指换能器（Inter Digital Transducer，IDT）电极，例如具备一对汇流条（bus bar）与配置在所述这些汇流条间的电极指群；及反射器，形成在所述IDT电极的弹性表面波的传播方向两侧。

在X轴方向上、于所述压电基板中传播的体声波（BAW：Bulk Acoustic Wave），如图19所示，有着：传播速度比较慢的横波（3349m/s）、传播速度比所述横波快的横波（4214m/s）及纵波（5588m/s）。而且，在此种压电基板中，所述较快的横波变成剪切水平（Shear Horizontal，SH）波（变位方向与压电基板的表面平行的横波），并集中于压电基板的表面，且变成所述LSAW。所述LSAW并非完全的SH波，还包含剪切垂直（Shear Vertical，SV）成分。

此时，LSAW在所述压电基板中传播时，会产生传播损耗。若对产生此种传播损耗的理由的具体一例进行说明，则如上所述，所述LSAW的传播速度快于SV体声波（较慢的横波），故而该LSAW中的SV成分与SV体声波耦合，随着传播进行而产生能量损耗。

此处，如下所述，关于LSAW的传播损耗，对电极指的对数设定为无限（无限周期IDT）的情况已进行了分析，但对于实际的有限结构的情况并未进行分析。而且，在专利文献1～6中，虽然分别记载了压电基板的切割角（cut angle）、IDT电极的膜厚等，但是并未研究LSAW的传播损耗的详细内容。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开平9-167936

专利文献2：国际公开2008-4408

专利文献3：日本专利特开2003-283298

专利文献4：日本专利特开2006-87145

专利文献5：日本专利特开2007-74754

专利文献6：日本专利特开昭63-238708

发明内容

本发明是鉴于所述情况研究而成的发明，目的在于：提供一种弹性表面波元件及电子零件，在为了利用包含泄漏弹性表面波（Leaky Surface Acoustic Wave，LSAW）的弹性表面波、而于钽酸锂基板上配置了IDT电极的弹性表面波元件中，即便所述弹性表面波元件的频带为2GHz以上的高频带，也能将传播损耗抑制得较小。

本发明是一种弹性表面波元件，利用包含2GHz以上的频率的LSAW的弹性表面波，该弹性表面波元件包括：

压电基板，构成为：在相对于绕着结晶轴的X轴旋转45°～46°的Y轴而垂直切断的钽酸锂基板上，在X轴方向上传播弹性表面波；

IDT电极，包含：含有导电体膜的一对汇流条、及含有导电膜的电极指群，所述一对汇流条是以沿着弹性表面波的传播方向分别延伸并相互平行的方式，而形成在所述压电基板上，所述电极指群是以从所述多个汇流条朝对向的汇流条相互呈梳齿状交叉的方式配置；及

反射器，分别设置在弹性表面波的传播方向上的所述IDT电极的一方侧及另一方侧，且所述反射器分别包含：一对反射器汇流条、及反射器电极指群，所述一对反射器汇流条以沿着弹性表面波的传播方向分别延伸并相互平行的方式，而形成在所述压电基板上，所述反射器电极指群以将所述多个反射器汇流条彼此相互连接的方式而各自形成；

将所述电极指群的周期长设为λ，则所述电极指群的各个所述导电体膜的膜厚为7.5%λ～8%λ，

将所述电极指的宽度尺寸及相互邻接的电极指间的隔开尺寸分别设为D及S，则用宽度尺寸D与隔开尺寸S的和除宽度尺寸D所得的值来表现的线占有率为0.55～0.65。