[发明专利]整合管芯级摄像组件及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201210389870.3 申请日: 2012-10-15
公开(公告)号: CN103259965A 公开(公告)日: 2013-08-21
发明(设计)人: 丹尼斯·加拉格尔;亚当·格林加德;保罗·E·X·希尔贝拉;克里斯·利纳恩;乌拉蒂斯拉夫·丘马申科;贞元·奥尔丁尔 申请(专利权)人: 全视技术有限公司
主分类号: H04N5/225 分类号: H04N5/225;H04N5/247;H01L27/146
代理公司: 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 代理人: 余朦;王艳春
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 整合 管芯 摄像 组件 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种整合管芯级摄像组件系统,包括:

第一管芯级摄像组件,至少部分形成于管芯中;

第二管芯级摄像组件,至少部分形成于所述管芯中;以及

挡板,阻挡在所述第一与所述第二管芯级摄像组件之间的干扰光。

2.根据权利要求1所述的系统,其中,所述第一管芯级摄像组件的第一传感器与所述第二管芯级摄像组件的第二传感器形成于晶圆中。

3.根据权利要求1所述的系统,其中,所述第一管芯级摄像组件包括第一组的多个透镜件,所述第二管芯级摄像组件包括第二组的多个透镜件,其中所述第一管芯级摄像组件的透镜件与所述第二管芯级摄像组件的透镜件形成于晶圆中。

4.根据权利要求1所述的系统,其中,所述第一管芯级摄像组件包括第一孔径阻挡层,所述第二管芯级摄像组件包括第二孔径阻挡层,所述第一与所述第二孔径阻挡层形成为所述挡板。

5.根据权利要求1所述的系统,其中,所述第一与所述第二管芯级摄像组件的其中之一的较大的透镜被切断以为所述第一与所述第二管芯级摄像组件的其中的另一提供空间。

6.根据权利要求1所述的系统,其中,所述第一与所述第二管芯级摄像组件的分享共同晶圆的所述透镜件具有相同凹面。

7.根据权利要求1所述的系统,其中,所述第一与所述第二管芯级摄像组件具有相等的全轨道长度。

8.一种行动取像装置,包括:

多个管芯级摄像组件,形成于单一管芯,所述管芯级摄像组件的至少其中之一具有第一组性能特征,所述管芯级摄像组件的至少其中之一具有第二组性能特征,所述第二组性能特征与所述第一组性能特征不相同;以及

挡板,阻挡所述管芯级摄像组件之间的干扰光线。

9.根据权利要求8所述的装置,其中,所述管芯级摄像组件的第一摄像组件包括第一孔径阻挡层,所述管芯级摄像组件的第二摄像组件包括第二孔径阻挡层,所述第一与所述第二孔径阻挡层形成所述挡板。

10.根据权利要求8所述的装置,其中,所述第一与所述第二管芯级摄像组件的其中之一的较大的透镜被切断以为所述第一与所述第二管芯级摄像组件的其中的另一提供空间。

11.根据权利要求8所述的装置,其中,所述第一性能特征包括第一调制传递函数以达到高清取像,所述第二性能特征包括第二调制传递函数以达到任务取像。

12.根据权利要求11所述的装置,其中,所述任务取像包括检测光强度、检测人脸存在与否以及检测手势的至少其中之一。

13.一种管芯级摄像组件系统的制造方法,包括:

形成第一管芯级摄像组件,使其至少部分位于管芯;

形成第二管芯级摄像组件,使其至少部分位于所述管芯;以及

阻挡在所述第一与所述第二管芯级摄像组件之间的干扰光线。

14.根据权利要求13所述的制造方法,还包括:

形成所述第一管芯级摄像组件的第一传感器以及所述第二管芯级摄像组件的第二传感器于晶圆中。

15.根据权利要求13所述的制造方法,其中,所述第一管芯级摄像组件包括第一组的多个透镜件,所述第二管芯级摄像组件包括第二组的多个透镜件,所述制造方法还包括:

形成所述第一管芯级摄像组件的透镜件与所述第二管芯级摄像组件的透镜件于晶圆中。

16.根据权利要求13所述的制造方法,其中,所述阻挡干扰光线包括形成挡板。

17.根据权利要求13所述的制造方法,还包括:

形成所述第一管芯级摄像组件的第一孔径阻挡层与所述第二管芯级摄像组件的第二孔径阻挡层的至少其中之一。

18.根据权利要求13所述的制造方法,其中,所述第一与所述第二管芯级摄像组件的所述透镜件通过共同样板同时形成。

19.根据权利要求13所述的制造方法,还包括:

在形成所述第一与所述第二管芯级摄像组件之后,将所述管芯从堆栈晶圆分离。

20.一种行动取像装置的制造方法,包括:

形成多个管芯级摄像组件于单一管芯,所述管芯级摄像组件的至少一个第一摄像组件具有第一组性能特征,所述管芯级摄像组件的至少一个第二摄像组件具有第二组性能特征,所述第二组性能特征与所述第一组性能特征不相同;以及

阻挡所述管芯级摄像组件之间的干扰光线。

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