[发明专利]石英玻璃真空脱羟用抽真空装置及方法及石英玻璃真空脱羟炉

说明书

技术领域

本发明涉及石英玻璃真空脱羟领域的抽真空装置，尤其涉及一种石英玻璃真空脱羟用抽真空装置，以及一种石英玻璃真空脱羟用抽真空方法，以及一种石英玻璃真空脱羟炉。 

背景技术

现有技术中，石英玻璃管真空脱羟的抽真空设备，要获得中、高真空，需要由三级真空机组，以前的三级一般主要包括扩散泵、罗茨泵和旋片泵。由于三级真空系统复杂、运行、维护成本高，真空内部环境、外部环境都很差，对产品质量运行较大，而新型抽真空装置能够解决这些问题。 

发明内容

本发明专利要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种石英玻璃真空脱羟用抽真空装置，本石英玻璃真空脱羟用抽真空装置能够降低抽气功率，提高极限真空度，降低生产成本，改善工作环境。本发明还提供了石英玻璃真空脱羟用抽真空方法，本石英玻璃真空脱羟用抽真空方法能够降低抽气功率，提高极限真空度，降低生产成本，改善工作环境。本发明还提供了一种石英玻璃真空脱羟炉，本石英玻璃真空脱羟炉能够降低抽气功率，提高极限真空度，降低生产成本，改善工作环境。 

针对石英玻璃真空脱羟用抽真空装置，本发明采取的技术方案为：一种新型石英玻璃真空脱羟用抽真空装置，其特征在于：包括直联旋片泵和与直联旋片泵相连并且在低于200Pa的压强下能够启动的分子增压泵；当直联旋片泵首先启动并且将炉体内的压强抽至200Pa以下时，分子增压泵开始启动并将炉体内压强抽至10^-3Pa以下。分子增压泵采用的是是新型中真空、高真空兼用真空泵，是目前其它真空泵所没有的特性，其圆盘式叶轮是其技术的核心，抗大气冲击能力强，抽气速度快。 

作为本发明进一步改进的技术方案，当直联旋片泵首先启动并且将炉体内的压强抽至200Pa以下时，分子增压泵开始启动并将炉体内压强抽至10^-3Pa-10^-4Pa。 

作为本发明进一步改进的技术方案，还包括连接在分子增压泵和直联旋片泵之间的电磁压差阀。电磁压差阀开启，旋片泵与分子增压泵联通；电磁压差阀关闭，则旋片泵与分子增压泵断开。 

作为本发明进一步改进的技术方案，还包括一端与分子增压泵相连接的高真空阀，高真空阀的另一端用于连接炉体。高真空阀开启，真空室与真空系统联通；高真空阀关闭，则真空室与真空系统断开。 

针对石英玻璃真空脱羟炉，本发明采取的技术方案为：一种石英玻璃真空脱羟炉，包括炉体和与炉体相连接的上述的石英玻璃真空脱羟用抽真空装置。 

针对石英玻璃真空脱羟用抽真空方法，本发明采取的技术方案为：一种石英玻璃真空脱羟炉用抽真空方法，包括以下步骤： 

首先，开启直联旋片泵，将炉体内的压强抽至200Pa以下；

然后，开启分子增压泵，将炉体内压强抽至10^-3Pa以下。

作为本发明进一步改进的技术方案，开启分子增压泵，将炉体内压强抽至110^-3Pa-10^-4Pa。 

作为本发明进一步改进的技术方案，在开启直联旋片泵之前，还包括开启连接在分子增压泵和直联旋片泵之间的电磁压差阀和连接在炉体和分子增压泵之间的高真空阀的步骤。 

本发明在原三级真空机组的基础上将石英玻璃真空脱羟用抽真空装置改为由直联旋片泵和分子增压泵组成的二级真空机组。本发明的优点有：结构简单，运行可靠；工作范围宽，在200Pa--10^-5Pa压强范围内，甚至在200Pa--10^-7Pa压强范围内能连续运行，可作中、高真空两台泵使用；中真空抽速高，比传统的中真空系统高出3-5倍，是目前抽速最高的中真空系统；能获得清洁真空；节能显著，能耗仅为传统中真空系统的5％，油扩散泵的10％，分子泵+罗茨泵机组的30%；抽气效率高，大部分场合能在几分钟内获得10^-3Pa高真空；转速低，比现有分子泵的转速低30%，轴承寿命显著延长；维护方便。总之，本发明与现有技术相比，设备使用安全系数高，运行成本低；改善了石英玻璃的脱羟效果，优于传统的真空系统，石英玻璃管的光透、表面质量、理化性能、等都有大幅度的提高，特别是去除氢氧根的效果极佳，能够做到小于0.1ppm。满足电光源、半导体、光纤等行业的特殊需求；能够降低抽气功率，提高极限真空度，降低生产成本，改善工作环境。 

附图说明

图1为本发明的结构示意图。 

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步说明。