[发明专利]光导波元件

说明书

技术领域

本发明涉及光导波元件，尤其是涉及使用具有电光效应且厚度为10μm以下的薄板的光导波元件。

背景技术

在光计测技术领域或光通信技术领域中，多使用光调制器等光导波元件，其中该光调制器使用了具有电光效应的基板。而且，为了实现频率响应特性的宽带化或驱动电压的减少，将基板的厚度减薄至10μm左右，降低调制信号即微波的实效折射率，实现微波与光波的速度匹配，进而实现电场效率的提高。如专利文献1所示，这种薄板以机械强度的确保为目的，而与其他的加强基板粘接而使用。

在薄的主基板（也称为“薄板”）中，在基板内传播的信号光的行为成为问题。尤其是从薄板内的光导波例如S字部、分支·结合部泄漏的杂散光与主基板具有100μm以上的厚度的情况不同，将薄板作为片状导波路进行传播。并且，由光导波元件的端面反射的片状传播光以浅的角度与光导波交叉时，产生光结合，因结合状态而产生光导波元件的波长依赖性。而且，由于在对传播损失或对消光比进行监控的监控用受光元件的相位差中产生波长依赖性，因此光导波元件的动作特性会发生劣化。

损失或消光比等的规格被规定在使用波长域内，因此需要在整个使用波长域内测定该特性。其结果是，测定将花很长时间，即便一个波长中，未达到特性，也会对成品率造成很大的影响。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2010-85789号公报

发明内容

本发明要解决的课题是解决上述的问题，提供一种光导波元件，其对于使用具有电光效应，厚度为10μm以下的薄板的光导波元件，将在该元件的端面反射的片状传播光除去，从而抑制动作特性的劣化。

为了解决上述课题，本发明第一方面涉及一种光导波元件，其具有薄板和加强基板，该薄板具有电光效应且厚度为10μm以下，在该薄板上形成有光导波，该加强基板经由粘接层而与该薄板粘接，所述光导波元件的特征在于，在该光导波元件的侧面的局部形成有防反射膜。

本发明第二方面以第一方面的光导波元件为基础，其特征在于，形成有该防反射膜的面是该光导波的配置有出射侧端部的面。

本发明第三方面以第一或第二方面的光导波元件为基础，其特征在于，该防反射膜跨该薄板和该加强基板这两者而形成。

本发明第四方面以第一至第三方面中任一方面的光导波元件为基础，其特征在于，该防反射膜通过以考虑到粘接剂的方式（考虑到粘接剂的折射率的方式）来设计。

【发明效果】

根据本发明第一方面，光导波元件具有薄板和加强基板，该薄板具有电光效应且厚度为10μm以下，在该薄板上形成有光导波，该加强基板经由粘接层而与该薄板粘接，在该光导波元件的侧面的局部形成有防反射膜，因此，能够提供一种将薄板的端面等处反射的片状传播光除去，并抑制了动作特性的劣化的光导波元件。

根据本发明第二方面，形成有防反射膜的面是光导波的配置有出射侧端部的面，因此能够有效地除去沿着光导波延伸的方向传播的片状传播光，能够进一步改善动作特性。

根据本发明第三方面，防反射膜跨薄板和加强基板这两方形成，因此防反射膜的粘接面积增加，能够抑制膜体的剥离或缺陷的发生。

根据本发明第四方面，防反射膜通过以考虑到粘接剂的方式来设计，因此在利用粘接剂将光纤与光导波元件对接时，能抑制光导波与粘接剂之间的反射，能够减少结合损失。

附图说明

图1是说明本发明的光导波元件的概略情况的剖视图。

图2是说明本发明的光导波元件中的反射率的波长依赖性的图形。

具体实施方式

以下，关于本发明的光导波元件，使用优选例进行详细说明。

如图1所示，本发明的光导波元件具有薄板和加强基板，该薄板具有电光效应且厚度为10μm以下，在该薄板上形成有光导波，该加强基板经由粘接层而与该薄板粘接，所述光导波元件的特征在于，在该光导波元件的侧面的局部形成有防反射膜。

作为具有电光效应的基板（薄板），尤其优选可以利用LiNbO₃、LiTaO₅或PLZT（锆钛酸铅镧）中的任一个的单结晶。尤其是优选多使用在光调制器中的LiNbO₃、LiTaO₅。而且，形成于基板的光导波例如通过使钛（Ti）等高折射率物质在LiNbO₃基板（LN基板）上发生热扩散而形成。